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公开(公告)号：CN101573396A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200780047312.6
申请日：2007-11-13
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G73/22 , C07C215/68
CPC classification number: C08G73/06 , C07C215/68 , C07C2603/24 , C07C2603/26 , C08G69/26 , C08G69/42 , C08G2650/48 , C08L79/04
Abstract: 由式(1)表示的氟化二胺。在该式中，R1表示稠合多环芳香烃基团，至少一个－C(CF3)2OH基团和至少一个－NH2基团分别键合至组成稠合多环芳香烃基团的碳原子中两个相邻碳原子上。源于此氟化二胺的聚合物的低介电特性和低吸水性优异且具有降低的热膨胀性和高的玻璃化转变温度。
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公开(公告)号：CN101687741B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN200880024402.8
申请日：2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时，通过使用有机碱，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐，或者经由皂化和酯化交换成鎓盐，可以得到2-(烷基羰氧基)-1，1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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公开(公告)号：CN101970400B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN200980108659.6
申请日：2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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公开(公告)号：CN102325824B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201080008736.3
申请日：2010-02-18
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G69/42 , C07C57/58 , C07C57/76 , C07C59/64 , C07C69/65 , C07C69/734 , C08G63/682 , C08G73/06
CPC classification number: C07C59/64 , C07C69/65 , C07C69/734 , C08G63/6826 , C08G69/42 , C08G73/06 , C08G73/1039 , C08G73/22
Abstract: 本发明提供一种高分子化合物，其通过使通式(M-1)所示的含氟二羧酸衍生物或该含氟二羧酸的酸酐与具有2～4个能够对它们的羰基部位的反应性进行应答的反应性基团的多官能化合物缩聚而得到。AOCF2C-Q-CF2COA′(M-1)[式中，Q为具有可具有取代基的芳香环的二价有机基团，A、A’表示有机基团。]该高分子具有如下特征：作为半导体的保护膜具有充分低的介电常数，并且，可在250℃以下这样比较低的温度下形成薄膜。
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公开(公告)号：CN102203057A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980143621.2
申请日：2009-10-21
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C303/02 , C07C211/63 , C07C309/17 , C07C313/02
CPC classification number: C07C313/04 , C07C211/05 , C07C211/07 , C07C211/63 , C07C303/02 , C07C303/22 , C07C303/44 , C07C309/17
Abstract: 本发明中，使用卤代氟烷酸酯类作为起始原料，在胺的存在下将其亚磺化(第1工序)后，通过氧化(第2工序)而获得目标烷氧基羰基氟代烷磺酸盐类。进而通过对其进行盐交换(第3工序)，从而获得作为光产酸剂有用的烷氧基羰基氟代烷磺酸鎓盐类。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101970400A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980108659.6
申请日：2009-03-10
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 本发明提供一种具有下述通式(1)所示的含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐。其中，本发明可提供光产酸剂以及含有这样的光产酸剂的抗蚀材料，通过使用产生该酸的化学增幅抗蚀材料用的光产酸剂，对ArF准分子激光等为高感光度、所产生的酸(光产酸)的酸性度充分高、且具有对抗蚀溶剂高的溶解性和对树脂优异的相容性。
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公开(公告)号：CN102449000B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080024220.8
申请日：2010-05-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/22 , C07C69/653 , C07C69/732 , C08F12/14 , C08F16/12 , C08F32/08 , G03F7/039 , G03F7/11
CPC classification number: C07C69/653 , C07C69/675 , C07C69/732 , C07C2602/42 , C07C2603/68 , C08F220/24 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明的含氟高分子化合物是包含通式(2)所示的重复单元(a)的、质均分子量为1,000～1,000,000的树脂。该树脂可以适用于利用300nm以下波长的高能射线或电子束来形成图案的抗蚀剂组合物、和浸没式光刻中的顶涂层组合物，其特征在于拒水性、特别是后退接触角大。(式中，R1表示含有聚合性双键的基团，R2表示氟原子或含氟烷基，R8表示取代或非取代的烷基等，W1表示单键、非取代或取代的亚甲基等。)
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公开(公告)号：CN102186890B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
Abstract: 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子)。
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公开(公告)号：CN102325824A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201080008736.3
申请日：2010-02-18
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G69/42 , C07C57/58 , C07C57/76 , C07C59/64 , C07C69/65 , C07C69/734 , C08G63/682 , C08G73/06
CPC classification number: C07C59/64 , C07C69/65 , C07C69/734 , C08G63/6826 , C08G69/42 , C08G73/06 , C08G73/1039 , C08G73/22
Abstract: 本发明提供一种高分子化合物，其通过使通式(M-1)所示的含氟二羧酸衍生物或该含氟二羧酸的酸酐与具有2～4个能够对它们的羰基部位的反应性进行应答的反应性基团的多官能化合物缩聚而得到。AOCF2C-Q-CF2COA′(M-1)，式中，Q为具有可具有取代基的芳香环的二价有机基团，A、A’表示有机基团。该高分子具有如下特征：作为半导体的保护膜具有充分低的介电常数，并且，可在250℃以下这样比较低的温度下形成薄膜。
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公开(公告)号：CN102186890A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
Abstract: 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子。)
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