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公开(公告)号:CN101687740A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200880020858.7
申请日:2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2,2-二氟乙醇的制造方法,其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中,所述式[1]中,A表示取代或者非取代的碳原子数1~20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6~15的芳氧基或碳原子数4~15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2,2-二氟乙醇作为原料,依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序,可以得到2-烷基羰氧基-1,1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号:CN101687741B
公开(公告)日:2014-02-19
申请号:CN200880024402.8
申请日:2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时,通过使用有机碱,可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐,或者经由皂化和酯化交换成鎓盐,可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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公开(公告)号:CN101687781B
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN200880012078.8
申请日:2008-02-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C309/12 , C07C381/12 , C08F20/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC classification number: C07C69/003 , C07C69/74 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 以下式(1)表示的磺酸鎓盐能够用作抗蚀剂组合物用优异的辐射线敏感性产酸剂。通过使用含该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物,能够形成良好的图案。在式(1)中,R1表示1价有机基团,Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子。
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公开(公告)号:CN101687740B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN200880020858.7
申请日:2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 本发明提供2-溴-2,2-二氟乙醇的制造方法,其包括通过作为还原剂的酸根型的氢络合物将式[1]所示的溴二氟醋酸衍生物进行还原的工序。其中,所述式[1]中,A表示取代或者非取代的碳原子数1~20的直链状、支链状或环状的烷氧基、取代或者非取代的碳原子数6~15的芳氧基或碳原子数4~15的杂芳氧基、或卤素。通过以该2-溴-2,2-二氟乙醇作为原料,依次进行酯化工序、亚磺化工序、氧化工序,可以得到2-烷基羰氧基-1,1-二氟乙烷磺酸盐类。
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公开(公告)号:CN101687781A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200880012078.8
申请日:2008-02-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C309/12 , C07C381/12 , C08F20/24 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC classification number: C07C69/003 , C07C69/74 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 以下式(1)表示的磺酸鎓盐能够用作抗蚀剂组合物用优异的辐射线敏感性产酸剂。通过使用含该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物,能够形成良好的图案。在式(1)中,R 1 表示1价有机基团,Q + 表示锍阳离子或碘鎓阳离子。
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公开(公告)号:CN101687741A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200880024402.8
申请日:2008-09-05
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C309/17 , C07C29/147 , C07C67/08 , C07C67/14 , C07C303/32 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C07C31/34 , C07C69/653 , C07C69/63 , C07C69/753
Abstract: 使用亚磺化剂对羧酸溴二氟乙基酯进行亚磺化时,通过使用有机碱,可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。将其氧化可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷磺酸铵盐。通过以其为原料交换成鎓盐,或者经由皂化和酯化交换成鎓盐,可以得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷磺酸鎓盐类。
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