检查装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105510387A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201510648899.2

    申请日:2015-10-09

    CPC classification number: H01M8/1004 G01N27/92 G01R31/3641 G01N27/00

    Abstract: 本发明提供一种检查装置,检查具有阶梯部的工件,在该检查装置中抑制了温度上升。检查具有阶梯部(115)的工件(100)的检查装置(20)具备:一对电极板(220、230),夹持上述工件(100)并对上述工件(100)施加电压,且包含配置于上述阶梯部(115)侧的第一电极板(220)和配置于上述工件(100)的上述阶梯部(115)的相反侧的第二电极板(230);及传热部件(240),以在上述阶梯部和上述第一电极板(220)之间不会产生间隙的方式配置。

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