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公开(公告)号：CN100482408C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510097403.3
申请日：2005-12-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: B24B1/00 , H01L21/304 , G05D3/00 , B24B37/04 , B24B7/00
Abstract: 本发明涉及一种能够根据磨削阶段精确地控制安放在姿势控制器上的物体的姿势的姿势控制器和精密加工设备。该姿势控制器由第一平板构件(21)和与第一平板构件平行设置且与第一平板构件间隔距离(L)的第二平板构件(22)构成。在第一和第二平板构件(21、22)之间设有球形件(3)，且该球形件的部分配合在分别形成在第一和第二平板构件(21、22)内的凹部(21a、22a)中。在该平板构件之间设有可沿垂直于由X轴和Y轴限定的平面的Z轴方向伸展的第一致动器(4a)。可沿由X轴和Y轴限定的平面内的合适方向伸展的第二致动器(4b)连接到第二平板构件(22)上。第二平板构件(22)与安放在其上的物体一起处于一种姿势，可相对于第一平板构件运动，球形件(3)通过可弹性变形的粘合剂(6)粘结在第一和第二平板构件(21、22)上。
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公开(公告)号：CN101151123A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200680010445.1
申请日：2006-04-04
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/042 , B24B41/02
Abstract: 本发明涉及一种能够精确地进行磨削加工的精密加工方法。该方法包括：通过用金刚石磨轮(b)粗磨被磨削体(a)来生产中间磨削体的第一步骤；和通过用CMG磨轮磨削所述中间磨削体来生产最终磨削体的第二步骤。在所述第一步骤中，通过基于移动量的控制，以具有不同进给速度的多阶段进给来可控地进给旋转装置(6b)和基台(3)。在所述第二步骤中，通过基于压力的控制，以恒定的压力或者以具有不同压力的多阶段固定压力来可控地移动旋转装置(6b)和基台(3)。
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公开(公告)号：CN1797256A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510097404.8
申请日：2005-12-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 本发明涉及一种精密加工设备和一种精密加工方法，其能够根据磨削阶段通过运动量和逐步改变的恒压在例如用于使磨轮旋转的装置上执行切换控制以精确地进行磨削。致动器(5)和至少由进给螺杆(41)和螺母(42)构成的进给螺杆机构(4)附装在第二基座(3)上，该第二基座(3)支承用于使磨轮(b)旋转的旋转装置(6b)。在粗磨阶段，可通过螺母(42)的预定运动量来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。在超精密磨削阶段，可通过逐步使用压力性能不同的多个气动致动器(5a，5b)的压力控制来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。姿势控制器(7)设置在第一基座(2)和旋转装置(6a)之间，以使待磨削的物体a旋转。
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公开(公告)号：CN1796047A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510097403.3
申请日：2005-12-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: B24B1/00 , H01L21/304 , G05D3/00 , B24B37/04 , B24B7/00
Abstract: 本发明涉及一种能够根据磨削阶段精确地控制安放在姿势控制器上的物体的姿势的姿势控制器和精密加工设备。该姿势控制器由第一平板构件(21)和与第一平板构件平行设置且与第一平板构件间隔距离(L)的第二平板构件(22)构成。在第一和第二平板构件(21、22)之间设有球形件(3)，且该球形件的部分配合在分别形成在第一和第二平板构件(21、22)内的凹部(21a、22a)中。在该平板构件之间设有可沿垂直于由X轴和Y轴限定的平面的Z轴方向伸展的第一致动器(4a)。可沿由X轴和Y轴限定的平面内的合适方向伸展的第二致动器(4b)连接到第二平板构件(22)上。第二平板构件(22)与安放在其上的物体一起处于一种姿势，可相对于第一平板构件运动，球形件(3)通过可弹性变形的粘合剂(6)粘结在第一和第二平板构件(21、22)上。
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公开(公告)号：CN100577355C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200680010445.1
申请日：2006-04-04
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/042 , B24B41/02
Abstract: 本发明涉及一种能够精确地进行磨削加工的精密加工方法。该方法包括：通过用金刚石磨轮(b)粗磨被磨削体(a)来生产中间磨削体的第一步骤；和通过用CMG磨轮磨削所述中间磨削体来生产最终磨削体的第二步骤。在所述第一步骤中，通过基于移动量的控制，以具有不同进给速度的多阶段进给来可控地进给旋转装置(6b)和基台(3)。在所述第二步骤中，通过基于压力的控制，以恒定的压力或者以具有不同压力的多阶段固定压力来可控地移动旋转装置(6b)和基台(3)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101678533B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200880010099.6
申请日：2008-03-25
Applicant: 株式会社东京钻石工具制作所 , 丰田自动车株式会社
IPC: B24D3/02 , B24D3/00 , B24D3/28 , H01L21/304
CPC classification number: B24D3/28 , B24B37/24 , B24B37/245 , B24D3/32
Abstract: 本发明提供在硅晶片的磨削加工中使用的合成磨石，该合成磨石是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合剂的树脂、作为填充剂的盐类和作为添加剂的纳米金刚石的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充剂的盐类的含有率在1％以上20％以下的范围，作为添加剂的纳米金刚石的含有率相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围，且气孔率相对于结构全体，体积含有率在低于30％的范围。
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公开(公告)号：CN100527033C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200510097404.8
申请日：2005-12-28
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 本发明涉及一种精密加工设备和一种精密加工方法，其能够根据磨削阶段通过运动量和逐步改变的恒压在例如用于使磨轮旋转的装置上执行切换控制以精确地进行磨削。致动器(5)和至少由进给螺杆(41)和螺母(42)构成的进给螺杆机构(4)附装在第二基座(3)上，该第二基座(3)支承用于使磨轮(b)旋转的旋转装置(6b)。在粗磨阶段，可通过螺母(42)的预定运动量来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。在超精密磨削阶段，可通过逐步使用压力性能不同的多个气动致动器(5a，5b)的压力控制来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。姿势控制器(7)设置在第一基座(2)和旋转装置(6a)之间，以使待磨削的物体a旋转。
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公开(公告)号：CN101237960A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200680029036.6
申请日：2006-08-03
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: B24B37/005 , B24B41/061 , B24B49/04 , B24B49/12
Abstract: 一种精密加工设备，其构造成使得丝杠机构和致动器安装在第二支座上，第二支座支撑旋转砂轮的旋转装置，并且在粗磨阶段到超精磨阶段中，在适当地调整第二支座的移动量的同时执行磨削。位姿控制装置置于第一支座和旋转磨削目标体的旋转装置之间。通过光探针测量磨削目标体的厚度和平整度，并且将测量结果传送到计算机。然后将反馈指令传送到位姿控制装置以降低目标值和测量值之间的差，并且因此进行位姿控制。
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公开(公告)号：CN101237960B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200680029036.6
申请日：2006-08-03
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: B24B37/005 , B24B41/061 , B24B49/04 , B24B49/12
Abstract: 一种精密加工设备，其构造成使得丝杠机构和致动器安装在第二支座上，第二支座支撑旋转砂轮的旋转装置，并且在粗磨阶段到超精磨阶段中，在适当地调整第二支座的移动量的同时执行磨削。位姿控制装置置于第一支座和旋转磨削目标体的旋转装置之间。通过光探针测量磨削目标体的厚度和平整度，并且将测量结果传送到计算机。然后将反馈指令传送到位姿控制装置以降低目标值和测量值之间的差，并且因此进行位姿控制。
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公开(公告)号：CN101678533A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880010099.6
申请日：2008-03-25
Applicant: 株式会社东京钻石工具制作所 , 丰田自动车株式会社
IPC: B24D3/02 , B24D3/00 , B24D3/28 , H01L21/304
CPC classification number: B24D3/28 , B24B37/24 , B24B37/245 , B24D3/32
Abstract: 本发明提供在硅晶片的磨削加工中使用的合成磨石，该合成磨石是含有作为磨粒的氧化铈微粒、作为结合剂的树脂、作为填充剂的盐类和作为添加剂的纳米金刚石的结构体，其特征在于：上述氧化铈的纯度为60重量％以上，作为填充剂的盐类的含有率在1％以上20％以下的范围，作为添加剂的纳米金刚石的含有率相对于结构全体的体积含有率在0.1％以上、低于20％的范围，且气孔率相对于结构全体，体积含有率在低于30％的范围。
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