公开(公告)号：CN107723668A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201710666073.8

申请日：2017-08-07

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 松田祥太 ,  中田博道 ,  佐藤贵康 ,  佐藤羊治 ,  橘和孝 ,  坪井大树

IPC: C23C14/32

CPC classification number: C23C14/325 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/515 ,  C30B23/066 ,  C30B25/105 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32614

Abstract: 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。

公开(公告)号：CN107723668B

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201710666073.8

申请日：2017-08-07

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 松田祥太 ,  中田博道 ,  佐藤贵康 ,  佐藤羊治 ,  橘和孝 ,  坪井大树

IPC: C23C14/32

CPC classification number: C23C14/325 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/515 ,  C30B23/066 ,  C30B25/105 ,  H01J37/32055 ,  H01J37/32403 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32614

Abstract: 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。