公开(公告)号：CN102564818A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110318890.7

申请日：2011-08-01

Applicant: 乌尔姆大学 ,  卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： L·莱克纳 ,  U·凯瑟 ,  J·比斯库佩克

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/44

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24479

Abstract: 一种TEM-薄片制作方法包括将具有厚度的板状基底安装(51)在支撑件内；用粒子束在基底第一侧面上制作(53)相对支撑件成第一角度的第一条形凹部；及用粒子束在基底第二侧面上制作(55)相对支撑件成第二角度的第二条形凹部，使第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度更小的交叠区域。薄片具有较厚的边缘区域和较薄的中央区域，其第一侧上有第一条形凹部，第二侧上有第二条形凹部，第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度小于100nm的交叠区域。一种实施上述方法或制作上述薄片的设备包括可绕横轴和相对竖直方向倾斜的纵轴枢转的薄片支撑件、用于绕纵轴旋转的装置、及限制薄片支撑件绕横轴的倾侧的制动件。