公开(公告)号：CN102610479A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201110463206.4

申请日：2011-12-05

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司 ,  卡尔蔡司NTS有限公司

Inventor： D·普赖克萨斯 ,  A·H·海恩

IPC: H01J37/301

CPC classification number: H01J37/1474 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。

公开(公告)号：CN102439684A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201080022141.3

申请日：2010-05-04

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： B.W.沃德

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/2823 ,  H01J2237/30416

Abstract: 总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。

公开(公告)号：CN102072913A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN201010529590.9

申请日：2010-08-09

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： 休伯特·曼茨 ,  雷纳·阿诺德 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/22

CPC classification number: G01N23/2252 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2448

Abstract: 本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。

公开(公告)号：CN102779713A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201210243040.X

申请日：2012-03-31

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： D·多尼茨 ,  C·瓦格纳

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种带检测器装置的粒子束仪(1，24)。该粒子束仪具有第一和第二粒子束柱(16、2)，第一和第二粒子束柱分别具有产生第一或第二粒子束的第一或第二束产生器以及将第一或第二粒子束聚焦在目标(11)上的第一或第二物镜。第一粒子束柱具有第一粒子束轴线(28)。第二粒子束柱具有第二粒子束轴线(29)。设置检测相互作用粒子和/或相互作用束的检测器(12)，检测轴线(33)从检测器延伸到目标。第一粒子束柱的第一粒子束轴线和第二 粒子束柱的第二粒子束轴线形成不同于0°和180°的第一角度第一粒子束柱的第一粒子束轴线和该第二粒子束柱的第二粒子束轴线布置在第一平面(32)内。检测器的检测轴线和第一粒子束轴线布置在第二平面(34)内。第一平面和第二平面形成第二角度(α)，其数值处于65°至80°的范围内。

公开(公告)号：CN102543640A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110418980.3

申请日：2011-09-29

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： S·迪默 ,  H·曼茨 ,  J·帕卢齐恩斯基

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2482

Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。

公开(公告)号：CN102229023A

公开(公告)日：2011-11-02

申请号：CN201110084517.X

申请日：2011-02-17

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： 霍尔格·多默

IPC: B23K26/02 ,  B23K26/06 ,  B23K26/08 ,  B23K26/12 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  B23K26/032 ,  B23K26/082 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/36 ,  B23K26/705 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174

Abstract: 本发明涉及一种处理系统，包括：共同基座(53)；载物件(101)，被配置为承载用于检查或处理的物体；提供在所述载物件上的至少一个孔径板，具有至少一个孔径；安装在所述共同基座上的激光装置(15)，被配置为在扫描区域(13)上扫描激光束(17)；输送装置(103)，其被配置为相对于所述共同基座将所述载物件从第一位置位移到第二位置，其中，当所述载物件在所述第一位置时，所述物体和所述至少一个孔径位于所述激光装置的扫描区域内；设置在所述载物件上的至少一个光导，其中所述光导具有出口以及由所述至少一个孔径提供的入口；以及至少一个光检测器(151)，被安装在相对于所述共同基座的固定位置处，并被配置为检测从所述光导的出口出射的光。

公开(公告)号：CN102592933A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210005767.4

申请日：2012-01-10

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： A.谢尔特尔

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/30466 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种用于处理和/或分析样品(8)的粒子束装置(1)和方法。该粒子束装置(1)和该方法的特征在于：样品载具(24)布置在第一位置，其中样品表面(32)平行于第一粒子束柱(2)的第一束轴(21)。样品载具(24)可以从第一位置旋转到第二位置，在第二位置，样品表面(32)垂直于第二粒子束柱(3)的第二束轴(22)。第一束轴(21)和第二束轴(22)在重合点(23)处相交。在第一位置，重合点(23)和第一粒子束柱(2)之间的距离大于样品表面(32)和第一粒子束柱(2)之间的距离。而且，在第二位置，重合点(23)和第二粒子束柱(3)之间的距离大于样品表面(32)和第二粒子束柱(3)之间的距离。

公开(公告)号：CN102564818A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110318890.7

申请日：2011-08-01

Applicant: 乌尔姆大学 ,  卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： L·莱克纳 ,  U·凯瑟 ,  J·比斯库佩克

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/44

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24479

Abstract: 一种TEM-薄片制作方法包括将具有厚度的板状基底安装(51)在支撑件内；用粒子束在基底第一侧面上制作(53)相对支撑件成第一角度的第一条形凹部；及用粒子束在基底第二侧面上制作(55)相对支撑件成第二角度的第二条形凹部，使第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度更小的交叠区域。薄片具有较厚的边缘区域和较薄的中央区域，其第一侧上有第一条形凹部，第二侧上有第二条形凹部，第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度小于100nm的交叠区域。一种实施上述方法或制作上述薄片的设备包括可绕横轴和相对竖直方向倾斜的纵轴枢转的薄片支撑件、用于绕纵轴旋转的装置、及限制薄片支撑件绕横轴的倾侧的制动件。

公开(公告)号：CN102332382A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110230743.4

申请日：2011-06-22

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： J·比伯杰 ,  R·普尔维 ,  J·帕卢斯金斯基 ,  D·多尼茨 ,  H·马蒂 ,  M·斯泰格沃尔德

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01B15/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31722 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于确定的加工强度，将离子束引导到多个位置，从而在多个位置从物体移除材料或者在物体上沉积材料。

公开(公告)号：CN102760649A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201210239469.1

申请日：2012-04-23

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： F·佩雷斯-维拉德

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3178 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31744

Abstract: 一种处理系统包括：围绕在聚焦透镜和相互作用区域之间的束通道环形延伸的环形管道，特别是以圆环形的形式延伸；其中环形管道在面向相互作用区域的侧部上包括朝向相互作用区域的多个用于气体的出口；并且其中环形管道包括保持器装置，其配置成绕着枢轴枢转环形管道，其中该枢轴平行于物体保持器的倾斜轴。