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发明公开
用于基板料盒的装卸装置、基板料盒系统审中-实审

公开(公告)号：CN114641854A

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202080076808.1

申请日：2020-11-05

Applicant: 亚席斯自动化系统有限公司

Inventor： 托尔斯滕·维格拉恩 , 于尔根·莱纳

IPC: H01L21/677 , B25J15/00 , B25J11/00 , B25J9/00 , B25J15/06 , B25J9/02

Abstract: 本发明涉及一种用于基板料盒(2)的装卸装置(7)，基板料盒(2)具有多个隔间(3)，这些隔间中可插入多个基板(4)来进行存储或临时存储，所述装卸装置包括：至少一条可控的传送带(8)，其上可放置基板(4)；以及至少一个可控的夹持臂(11)，其构造为将基板(4)从传送带(8)推入到基板料盒的隔间中或将基板从隔间(3)推出到传送带(8)上，传送带(8)和夹持臂(11)布置于可移动地安置的公共载体(17)。夹持臂(11)至少基本上布置于传送带(8)下方以从下方夹持基板(4)，传送带(8)上方布置有可移动的真空夹持器(18)，其构造为从上方夹持并移动基板料盒(2)中或传送带(8)上的基板(4)。

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