公开(公告)号：CN112088437B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN201980031152.9

申请日：2019-05-09

Applicant: 亚席斯自动化系统有限公司

Inventor： F·瓦姆斯勒 ,  L·科尔布 ,  K·奥佩尔特

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于加工面式衬底、尤其电路板、太阳能电池、晶片等的加工装置(1)，加工装置具有：加工机构(2)、尤其印刷机构，加工机构具有加工头(4)、尤其印刷头和加工模具(3)、尤其印刷模具，在加工模具上可放置至少一个衬底以进行加工过程；用于输入衬底的输入机构(23)；用于输出衬底的输出机构(24)和用于将衬底从输入机构(23)输送至加工机构(2)以及从加工机构(2)输送至输出机构(24)的转盘(6)，其中，转盘(6)具有至少一个偏心的用于接收至少一个衬底的设备(11‑14)。

公开(公告)号：CN112088437A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201980031152.9

申请日：2019-05-09

Applicant: 亚席斯自动化系统有限公司

Inventor： F·瓦姆斯勒 ,  L·科尔布 ,  K·奥佩尔特

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种用于加工面式衬底、尤其电路板、太阳能电池、晶片等的加工装置(1)，加工装置具有：加工机构(2)、尤其印刷机构，加工机构具有加工头(4)、尤其印刷头和加工模具(3)、尤其印刷模具，在加工模具上可放置至少一个衬底以进行加工过程；用于输入衬底的输入机构(23)；用于输出衬底的输出机构(24)和用于将衬底从输入机构(23)输送至加工机构(2)以及从加工机构(2)输送至输出机构(24)的转盘(6)，其中，转盘(6)具有至少一个偏心的用于接收至少一个衬底的设备(11‑14)。