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发明公开
用于基板库的卸载装置、基板库系统审中-公开

公开(公告)号：CN118004633A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202311483276.5

申请日：2023-11-09

Applicant: 亚席斯自动化系统有限公司

Inventor： M·格拉斯 , M·拜克 , A·斯特雷尔

IPC: B65G1/04 , B65G47/34 , B65G47/82 , B65G47/22 , B65G15/30

Abstract: 本发明涉及一种用于基板库的卸载装置，其中，所述基板库(3、4、5)具有多个抽屉(7)，在抽屉中可以安置用于存储或临时存储的基板，具有至少一个上面可以放置基板的、可驱控的传送带(25)，具有至少一个可驱控的夹持臂(10)，该夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库(3、4、5)的抽屉中推出到所述传送带(25)上，其中，所述传送带(25)和所述夹持臂(10)布置在一个共同的且可移动地支撑的载体(8)上，其中，所述夹持臂(10)至少在初始位置上布置在所述传送带(25)的下方，以从下方夹持至少一个基板向外推出。

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