一种四氯化硅的氢化方法

    公开(公告)号:CN108439413A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810467385.0

    申请日:2018-05-16

    Abstract: 本发明提供一种四氯化硅的氢化方法,属于多晶硅生产技术领域。四氯化硅的氢化方法是向填充有电磁场调整材料和负载金属催化剂的气体放电反应器内通入四氯化硅和氢气,在电磁场的作用下反应。此方法能够提高四氯化硅低温氢化的效率,降低反应体系的温度。

    一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法

    公开(公告)号:CN108862281A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810786559.X

    申请日:2018-07-17

    Abstract: 本发明涉及晶体硅制备技术领域,具体涉及一种棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法。本发明提供的棒状多晶硅和颗粒多晶硅的联合生产方法,采用包括三氯氢硅的原料制备棒状多晶硅,将制备棒状多晶硅的尾气中产生含有的二氯二氢硅作为颗粒硅制备步骤的原料,同时,所述颗粒多晶硅制备步骤所得的尾气中包含有用于制备所述棒状多晶硅的原料三氯氢硅。相较于传统的单独棒状多晶硅或颗粒多晶硅生产工艺,本发明所述方法可以联合生产棒状多晶硅和颗粒多晶硅,具有工艺流程短、工艺共容、产业化成本低的优势。本发明产生的两种多晶硅产品具有强烈互补性,可以提升晶体生长环节的生产效率。本发明所述方法是一种绿色节能的多晶硅生产方法。

    混合液中轻组分的分离方法及该分离方法使用的精馏塔

    公开(公告)号:CN107823907B

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201711118192.6

    申请日:2017-11-13

    Abstract: 本发明提供一种混合液中轻组分的分离方法及该分离方法使用的精馏塔,属于物料分离技术领域。分离方法是将含有混合液的精馏塔中通入不溶于混合液和不与混合液发生反应的气体。其中:轻组分的质量浓度为:(30‑600)μg/ml;轻组分是指混合液中沸点最低的组分。上述分离方法使用的精馏塔,包括从上到下依次连通的塔顶、精馏段和塔釜,精馏段设置有进料口和进气口。其设备简单,在进行精馏的时候,由于通入气体,气体会与混合液中充分接触,将混合液中的微量轻组分传质到气体中,从而达到将微量轻组分进行分离的效果。

    一种光纤级四氯化硅的制备方法及多晶硅生产中还原尾气的处理方法

    公开(公告)号:CN107720759A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201711115897.2

    申请日:2017-11-13

    CPC classification number: C01B33/10778 C01B3/50 C01B7/0706

    Abstract: 本发明涉及电子材料生产技术领域,公开了一种光纤级四氯化硅的制备方法及多晶硅生产中还原尾气的处理方法。光纤级四氯化硅的制备方法包括从还原尾气中分离出氯硅烷混合液、从氯硅烷混合液中分离出初级四氯化硅以及对初级四氯化硅进行提纯。其最大限度地利用中间产物,极大地降低生产体系对外界的依赖程度,成本较低。多晶硅生产中还原尾气的处理方法包括利用上述的光纤级四氯化硅的制备方法对多晶硅生产中还原尾气进行处理,并将前两次分离步骤所得的氢气、氯化氢、二氯二氢硅及三氯氢硅作为多晶硅生产的原料进行贮存,较大的利用中间产物,生产的三废排放量显著减小,利用中间产物生产出光纤级四氯化硅,创造了较大的经济效益。

    一种二氧化碳低温等离子氢化法甲醇制备工艺

    公开(公告)号:CN106748647A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611035803.6

    申请日:2016-11-23

    CPC classification number: Y02P20/52 C07C29/152 C07C29/153 C07C31/04

    Abstract: 本发明公开了一种二氧化碳低温等离子氢化法甲醇制备工艺,按以下步骤进行,预混合;预加热:加热温度为15~50℃;反应:导入至DBD集成反应器中进行反应;分离:将反应后所得产物,包括甲醇、水以及未反应的二氧化碳和氢气在分离单元中进行分离;提纯,纯甲醇以液体形式进入产品罐中。本发明具有以下优点和有益效果:第一,可以将二氧化碳高效地转化为甲醇,驱动能源可以选择太阳能等清洁能源;第二,可以在接近室温条件下完成反应,反应条件温和,二氧化碳转化效率高,对设备要求低,成本更低;第三,气体放电过程中会产生大量的光辐射,当DBD与催化剂协同使用时,可以有效利用光辐射,极大促进二氧化碳的转化。

    粉体材料的等离子体掺杂方法

    公开(公告)号:CN106449343A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610783573.5

    申请日:2016-08-31

    CPC classification number: H01J37/32412 H01L21/2236

    Abstract: 本发明属于等离子体掺杂领域,尤其涉及粉体材料的等离子体掺杂方法。其特征是将受主粉体材料加入至等离子体掺杂腔室中,然后向等离子体掺杂腔室导入施主气,通过控制施主气的流量,使受主粉体材料处于稳定流化态,之后,启动激励电源通过介质阻挡放电使施主气活化并形成非平衡等离子体,非平衡等离子体中的活性粒子会进入至受主粉体材料中,完成掺杂,受主粉体材料在电场和磁场作用下活化,其本征性能亦会得到加强。本发明方法工艺简单、灵活度好、掺杂效率高,可以在温和条件下获得掺杂均匀性高、缺陷丰富的粉体材料,其应用前景十分广阔。

    多晶硅智能生产方法及系统

    公开(公告)号:CN109978287A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910410451.5

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种多晶硅智能生产方法及系统,包括如下步骤:第一,数字化研发设计利用仿真模拟软件对多晶硅生产中的主要设备、核心部件及关联参数进行仿真模拟;第二,智能化控制执行系统运行将仿真模拟分析得到的结果输入到智能化控制执行系统运行;第三,大数据分析通过采集的工艺数据,结合存储的历史生产工艺参数进行比对、人工智能深度计算,得到优化的分析结果;第四,结果输出将优化的分析结果与预定目标值进行比较,根据比较的结果进行输出。本发明实现多晶硅生产的智能控制,高效优化,达到降低消耗,提升质量的目的。

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