公开(公告)号：CN104245217A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380017026.0

申请日：2013-03-11

Applicant: 亚琛工业大学公共权力公司 ,  AIXACCT系统股份有限公司

Inventor： 乌维·瑞珍 ,  延斯·德弗里斯 ,  亚历山大·巴克豪斯 ,  汉斯皮特·鲍尔 ,  塞巴斯蒂安·弗尔 ,  贝恩德·赖兴贝格 ,  索斯藤·施米茨肯彭

IPC: B23K15/00 ,  G01T1/29 ,  H01J37/244 ,  H01J37/31

CPC classification number: G01R19/0061 ,  B23K15/0013 ,  B23K15/0026 ,  G21K1/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/31 ,  H01J37/315 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/303

Abstract: 本发明涉及一种计算带电粒子束的射束参数的方法，一种测量装置及带电粒子束装置。通过偏转单元(3)将带电粒子束装置(1)的带电粒子束(4)引导至装备在孔隙装置(7)上的具有一个或多个狭缝孔隙(8)的狭缝孔隙机构处。确定穿过狭缝孔隙机构的电子束部分的测量面坐标。根据测量面坐标，孔隙装置自动移动，使得设置在孔隙装置中的测量孔隙(9)移动到预先确定的测量参考点上。射束参数测量需要借助测量孔隙。在适合本方法的测量装置(5)中，狭缝孔隙机构包括至少两个互不平行的狭缝孔隙部分(12、13、15、16)，这些狭缝孔隙部分可以属于单一连续的狭缝孔隙。