具有壳体的半导体气体传感器和测量气体浓度的方法

    公开(公告)号:CN1347498A

    公开(公告)日:2002-05-01

    申请号:CN00806254.4

    申请日:2000-04-11

    Inventor: G·米勒 T·贝克

    CPC classification number: G01N27/12 G01N33/0009

    Abstract: 用于测量例如CO、NOx、O3等的半导体-气体传感器有可以加热的传感元件(1)用于测量气体浓度,以及有壳体(2),在其内部空间(20)安装传感元件(1)。壳体(2)有第一个开口(3),这个开口将内部空间(20)与外部空间相连接。在壳体(2)内安排了一个或多个第二个开口4a,4b,这些低于第一个开口(3),则通过对流驱动气体流从第二个开口(4a,4b)到第一个开口(3)。半导体-气体传感器可以由硅用微工艺制成。

Patent Agency Ranking