偏振光照射装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103941480A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201410006917.2

    申请日:2014-01-07

    Inventor: 三宫晓史

    Abstract: 一种偏振光照射装置,具备线栅偏振元件,被构成为如下装置,能够防止安装于装置的线栅偏振元件的线栅的破损,并且能够防止因硅氧烷化合物引起的白浊。在与线栅偏振元件的光源的相反侧(被照射面侧)设置滤光器。进一步,使空气在线栅偏振元件与滤光器之间流动。作为滤光器使用透射想要进行偏振的波长的光的部件。

    光取向用偏振光照射装置

    公开(公告)号:CN101566762B

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN200910136906.5

    申请日:2009-04-24

    Abstract: 本发明提供了光取向用偏振光照射装置,其即使在300nm以下的波长区域也能得到良好的消光比的偏振光,此外,在该波长区域中,即使入射到偏振元件的光的角度不相同,透射率也不会变化,而且偏振轴也不会旋转。工件(4)朝图中箭头方向被搬运,来自光照射部(6)的光通过线栅型偏振元件(1)被偏振,照射于被搬运到光照射部(6)下的工件(4)上,进行光取向处理。线栅型偏振元件(1)的栅极由氧化钛(TiOx)形成,在波长为240nm~300nm的范围中,能得到消光比为15∶1以上的偏振光,在波长为300nm以下的区域中,即使入射到偏光元件的光的角度不相同,透射率也不会变化,即使入射到线栅型偏振元件的光的角度不相同,偏振轴也不会旋转。

    偏振光照射装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102129139A

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN201110007079.7

    申请日:2011-01-13

    Abstract: 本发明的偏振光照射装置,使用了栅格偏振元件,能将光照射区域中的偏振轴的偏差尽量缩小。光照射部(20)具有棒状灯(1)和将来自棒状灯(1)的光向工件反射的槽状的反射镜(2)。在光照射部(20)的光出射侧中设置栅格偏振元件(10),来自棒状灯(1)的光通过栅格偏振元件(10)被偏振,并照射至工件(30),进行光取向处理。反射镜(2)是剖面为抛物线状的槽状的镜,棒状灯的中心配置在连接上述剖面为抛物线的反射镜的第1焦点与顶点的直线上、且比上述第1焦点更靠近栅格偏振元件(10)侧。因为将棒状灯的中心配置在比反射镜的第1焦点更靠近偏振元件(10)侧,所以与配置在第1焦点的情况相比可以将偏振轴的偏差缩小。

    光取向用偏振光照射装置

    公开(公告)号:CN101566762A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200910136906.5

    申请日:2009-04-24

    Abstract: 本发明提供了光取向用偏振光照射装置,其即使在300nm以下的波长区域也能得到良好的消光比的偏振光,此外,在该波长区域中,即使入射到偏振元件的光的角度不相同,透射率也不会变化,而且偏振轴也不会旋转。工件(4)朝图中箭头方向被搬运,来自光照射部(6)的光通过线栅型偏振元件(1)被偏振,照射于被搬运到光照射部(6)下的工件(4)上,进行光取向处理。线栅型偏振元件(1)的栅极由氧化钛(TiOx)形成,在波长为240nm~300nm的范围中,能得到消光比为15∶1以上的偏振光,在波长为300nm以下的区域中,即使入射到偏光元件的光的角度不相同,透射率也不会变化,即使入射到线栅型偏振元件的光的角度不相同,偏振轴也不会旋转。

    偏振光照射装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102129139B

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201110007079.7

    申请日:2011-01-13

    Abstract: 本发明的偏振光照射装置,使用了栅格偏振元件,能将光照射区域中的偏振轴的偏差尽量缩小。光照射部(20)具有棒状灯(1)和将来自棒状灯(1)的光向工件反射的槽状的反射镜(2)。在光照射部(20)的光出射侧中设置栅格偏振元件(10),来自棒状灯(1)的光通过栅格偏振元件(10)被偏振,并照射至工件(30),进行光取向处理。反射镜(2)是剖面为抛物线状的槽状的镜,棒状灯的中心配置在连接上述剖面为抛物线的反射镜的第1焦点与顶点的直线上、且比上述第1焦点更靠近栅格偏振元件(10)侧。因为将棒状灯的中心配置在比反射镜的第1焦点更靠近偏振元件(10)侧,所以与配置在第1焦点的情况相比可以将偏振轴的偏差缩小。

    偏振光照射装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103941480B

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201410006917.2

    申请日:2014-01-07

    Inventor: 三宫晓史

    Abstract: 一种偏振光照射装置,具备线栅偏振元件,被构成为如下装置,能够防止安装于装置的线栅偏振元件的线栅的破损,并且能够防止因硅氧烷化合物引起的白浊。在与线栅偏振元件的光源的相反侧(被照射面侧)设置滤光器。进一步,使空气在线栅偏振元件与滤光器之间流动。作为滤光器使用透射想要进行偏振的波长的光的部件。

    偏振光照射装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103226264B

    公开(公告)日:2016-11-02

    申请号:CN201310027795.0

    申请日:2013-01-24

    Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置,在维护装置时等,不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面,或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且,也可以在网格形成面的正上方(偏振元件和光源之间),设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。

    偏振光照射装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105974674A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610511297.7

    申请日:2013-01-24

    Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置,在维护装置时等,不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面,或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且,也可以在网格形成面的正上方(偏振元件和光源之间),设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。

    偏振光照射装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103226264A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201310027795.0

    申请日:2013-01-24

    Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置,在维护装置时等,不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面,或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且,也可以在网格形成面的正上方(偏振元件和光源之间),设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。

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