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公开(公告)号：CN105074882B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201480018747.8
申请日：2014-03-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光照射装置，能够将透光窗的光射出面与被处理物的表面之间的距离实质上设定为一定的大小，能够均匀地对被处理物进行处理。该光照射装置具备：紫外线射出灯，对配置在氧气氛下的被处理物射出真空紫外光；和透光窗，配置在被处理物与紫外线射出灯之间，透射来自紫外线射出灯的真空紫外光，透光窗经由被处理物按压用隔离件相对于被处理物以按压状态被配置，形成透光窗的光射出侧的表面与被处理物的表面之间的距离为一定大小的间隙。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105074882A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201480018747.8
申请日：2014-03-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光照射装置，能够将透光窗的光射出面与被处理物的表面之间的距离实质上设定为一定的大小，能够均匀地对被处理物进行处理。该光照射装置具备：紫外线射出灯，对配置在氧气氛下的被处理物射出真空紫外光；和透光窗，配置在被处理物与紫外线射出灯之间，透射来自紫外线射出灯的真空紫外光，透光窗经由被处理物按压用隔离件相对于被处理物以按压状态被配置，形成透光窗的光射出侧的表面与被处理物的表面之间的距离为一定大小的间隙。
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公开(公告)号：CN103226264B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201310027795.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30
Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置，在维护装置时等，不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面，或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且，也可以在网格形成面的正上方（偏振元件和光源之间），设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。
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公开(公告)号：CN105974674A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610511297.7
申请日：2013-01-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置，在维护装置时等，不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面，或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且，也可以在网格形成面的正上方(偏振元件和光源之间)，设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。
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公开(公告)号：CN103226264A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310027795.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02B5/30
Abstract: 本发明提供一种具备线栅偏振元件的偏振光照射装置，在维护装置时等，不会发生手指碰到安装在装置上的线栅偏振元件的网格形成面，或者因掉落物品而损害网格。将线栅偏振元件的网格形成面朝向光源一方配置。并且，也可以在网格形成面的正上方（偏振元件和光源之间），设置罩住网格形成面的滤光器。作为滤光器使用透过想要进行偏振的波长的光的滤光器。
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公开(公告)号：CN203241563U
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201320163092.6
申请日：2013-04-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 村上哲也
IPC: G02B5/30 , G02B7/00 , G02B27/28 , G02F1/1337
Abstract: 本实用新型提供偏振元件单元以及偏振光照射装置。所述偏振元件单元，具有：线栅偏振元件；第一框架，保持线栅偏振元件；以及第二框架，保持第一框架，在第二框架上设置有调整机构，该调整机构通过使第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向。所述偏振光照射装置，包括：上述偏振元件单元；以及光源，通过偏振元件单元所具有的线栅偏振元件向工件照射偏振光。
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