公开(公告)号：CN104950521B

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201510089297.8

申请日：2015-02-27

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 上岛悠生 ,  田中米太 ,  藤次英树

IPC: G02F1/1337

Abstract: 在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。

公开(公告)号：CN104950521A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510089297.8

申请日：2015-02-27

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 上岛悠生 ,  田中米太 ,  藤次英树

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/133788

Abstract: 在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。