公开(公告)号：CN119065208A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202410392653.2

申请日：2024-04-02

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大泽理 ,  伊藤公一

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置、照射方法以及部件的制造方法，能够实现曝光的析像度提高。本发明的一个方式的照明光学系统为，将来自光源部的光向对象物照射，具备集成光学系统、输入透镜、带通滤波器、光圈、以及聚光透镜。集成光学系统配置在从光源部射出的光的光路上，使向对象物照射的光的照度分布均匀化。输入透镜配置在集成光学系统的光入射侧。带通滤波器配置在输入透镜与集成光学系统之间。光圈配置在集成光学系统的光射出侧。聚光透镜将从光圈射出的光向对象物照射。此外，光圈的尺寸构成为大于向对象物照射的光的照射区域的尺寸。

公开(公告)号：CN118092078A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202311437126.0

申请日：2023-11-01

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大泽理 ,  伊藤公一

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供一种能够实现曝光的分辨率的提高的照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法。有关本发明的一形态的照明光学系统，是将来自光源部的光向对象物照射的照明光学系统，具备积分器光学系统、聚光透镜和带通滤波器。上述积分器光学系统配置在从上述光源部射出的光的光路上，使被照射在上述对象物上的光的照度分布均匀化。上述聚光透镜由多个透镜构成，将从上述积分器光学系统射出的光向上述对象物照射。上述带通滤波器配置在被构成为上述聚光透镜的上述多个透镜的某些之间。

公开(公告)号：CN117501183A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202280042886.9

申请日：2022-03-24

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大泽理 ,  伊藤公一

IPC: G03F7/20

Abstract: 以较高的效率利用来自多个发光元件的光。照明光学系统(1)的一方式具备：光源(10)，使分别从发光面发出光的多个发光元件(11)在该发光面扩展的方向上相互排列；中继光学系统(20)，将上述发光元件所发出的光的配光分布转换成照度分布，并且使与上述多个发光元件对应的多个该照度分布在重叠面上相互重叠；光学积分器(30)，相互并列地配置有对在上述重叠面上重叠的光进行波阵面分割并作为多个光束进行传递的多个波阵面分割要素；以及聚光光学系统(50)，使上述多个光束在被照射面处重叠。

公开(公告)号：CN101114132A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200710138627.3

申请日：2007-07-24

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 伊藤公一

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 在具有反射折射光学系统的投影曝光装置中进行改变倍率时，使所投影的图案像的畸变和对比度下降。在支承台(11)上安装反射体(R)，第3透镜群(L3)和反射镜(MI)；支承台(11)沿着缩放驱动用导轨(6a)，可以在透镜(L1、L2)的光轴方向上移动。在没有进行改变倍率时，从第1透镜(L1)到反射镜(MI)和从反射镜(MI)到第2透镜(L2)的光学组件相对于反射镜(MI)、透镜群(L3)的光轴对称地配置；掩模(M)的图案像以等倍的方式投影到工件(W)上。在进行改变倍率时，使反射光学单元(10)整体在同一图的上下方向上移动。由此，可以一边保持良好的畸变和对比度一边使投影像的倍率变化。