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公开(公告)号：CN107208857A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680009229.9
申请日：2016-01-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: F21S2/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够实现高输出化及小型化的照明装置。本发明的照明装置的特征在于，具备反射型的荧光板、配置在该荧光板的光轴方向前方的聚光性透镜、以及环状的聚光镜，所述聚光镜具有比该聚光性透镜的外径大径的光放射开口，以该光放射开口位于该荧光板的光轴方向前方的方式被配置，将来自该荧光板的射出光中的朝着朝向该聚光性透镜的方向以外的方向的光反射而聚光；来自激励光源的激励光经由上述聚光镜与上述聚光性透镜之间的空隙部被向上述荧光板照射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108139040A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059147.5
申请日：2016-09-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21S2/00 , F21V7/09 , F21V7/22 , F21V1/17 , F21V13/00 , G02B19/00 , F21V5/04 , G03B21/00 , G03B21/14 , H01S5/022 , F21Y115/10 , F21Y115/30
CPC classification number: F21S2/00 , F21V5/04 , F21V7/09 , F21V7/22 , F21V9/30 , F21V13/00 , G02B19/00 , G03B21/00 , G03B21/14 , H01S5/022
Abstract: 本发明目的在于提供一种能够高效率地放射荧光，并能够以简单的构造构成小型的装置的荧光光源装置，而且，在利用于投影装置时，关于荧光能得到光的高利用效率的荧光光源装置。本发明的荧光光源装置具备：射出激励光的多个激励光源；接受所述激励光而放射荧光的荧光板；及使来自所述多个激励光源的各激励光源的激励光向所述荧光板的荧光出射面入射的激励光入射光学系统，其特征在于，所述激励光入射光学系统具备镜构件，该镜构件具有将从所述多个激励光源分别射出的激励光的行进方向分别进行转换的多个激励光反射面，在所述多个激励光反射面处被反射了的激励光为发散性光。
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公开(公告)号：CN119065208A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410392653.2
申请日：2024-04-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置、照射方法以及部件的制造方法，能够实现曝光的析像度提高。本发明的一个方式的照明光学系统为，将来自光源部的光向对象物照射，具备集成光学系统、输入透镜、带通滤波器、光圈、以及聚光透镜。集成光学系统配置在从光源部射出的光的光路上，使向对象物照射的光的照度分布均匀化。输入透镜配置在集成光学系统的光入射侧。带通滤波器配置在输入透镜与集成光学系统之间。光圈配置在集成光学系统的光射出侧。聚光透镜将从光圈射出的光向对象物照射。此外，光圈的尺寸构成为大于向对象物照射的光的照射区域的尺寸。
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公开(公告)号：CN118092078A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311437126.0
申请日：2023-11-01
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 提供一种能够实现曝光的分辨率的提高的照明光学系统、曝光装置、照射方法及零件的制造方法。有关本发明的一形态的照明光学系统，是将来自光源部的光向对象物照射的照明光学系统，具备积分器光学系统、聚光透镜和带通滤波器。上述积分器光学系统配置在从上述光源部射出的光的光路上，使被照射在上述对象物上的光的照度分布均匀化。上述聚光透镜由多个透镜构成，将从上述积分器光学系统射出的光向上述对象物照射。上述带通滤波器配置在被构成为上述聚光透镜的上述多个透镜的某些之间。
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公开(公告)号：CN117501183A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202280042886.9
申请日：2022-03-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 以较高的效率利用来自多个发光元件的光。照明光学系统(1)的一方式具备：光源(10)，使分别从发光面发出光的多个发光元件(11)在该发光面扩展的方向上相互排列；中继光学系统(20)，将上述发光元件所发出的光的配光分布转换成照度分布，并且使与上述多个发光元件对应的多个该照度分布在重叠面上相互重叠；光学积分器(30)，相互并列地配置有对在上述重叠面上重叠的光进行波阵面分割并作为多个光束进行传递的多个波阵面分割要素；以及聚光光学系统(50)，使上述多个光束在被照射面处重叠。
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公开(公告)号：CN107208857B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201680009229.9
申请日：2016-01-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够实现高输出化及小型化的照明装置。本发明的照明装置的特征在于，具备反射型的荧光板、配置在该荧光板的光轴方向前方的聚光性透镜、以及环状的聚光镜，所述聚光镜具有比该聚光性透镜的外径大径的光放射开口，以该光放射开口位于该荧光板的光轴方向前方的方式被配置，将来自该荧光板的射出光中的朝着朝向该聚光性透镜的方向以外的方向的光反射而聚光；来自激励光源的激励光经由上述聚光镜与上述聚光性透镜之间的空隙部被向上述荧光板照射。
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