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公开(公告)号：CN114902375A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202180008006.1
申请日：2021-03-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00 , H01L21/304
Abstract: 提供光照射装置，其能够更高效地冷却准分子灯。具备：准分子灯，具备沿第一方向延伸且对紫外光具有透射性的发光管和隔着发光管的壁面对置的一对电极，将在第二方向上对置的发光管的壁面中的一个壁面作为光出射面；一对侧壁板，沿第一方向延伸，在第三方向上隔着发光管对置；送风机构，在第二方向上在发光管与一个侧壁板之间具有喷射口，该喷射口呈沿第一方向延伸的形状，朝向发光管的与光出射面相反的一侧的外壁面喷射冷却气体；吸气机构，在第二方向上在发光管和与送风机构相反的一侧的侧壁板之间具有吸气口，该吸气口呈沿第一方向延伸的形状；及分隔板，沿第一方向延伸，在第二方向上与发光管分离地配置在发光管的与光出射面相反的一侧，将一对侧壁板直接或者间接地连在一起。
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