公开(公告)号：CN114902375A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202180008006.1

申请日：2021-03-09

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大図将人 ,  竹添法隆 ,  有川一树 ,  山口将志

IPC: H01J65/00 ,  H01L21/304

Abstract: 提供光照射装置，其能够更高效地冷却准分子灯。具备：准分子灯，具备沿第一方向延伸且对紫外光具有透射性的发光管和隔着发光管的壁面对置的一对电极，将在第二方向上对置的发光管的壁面中的一个壁面作为光出射面；一对侧壁板，沿第一方向延伸，在第三方向上隔着发光管对置；送风机构，在第二方向上在发光管与一个侧壁板之间具有喷射口，该喷射口呈沿第一方向延伸的形状，朝向发光管的与光出射面相反的一侧的外壁面喷射冷却气体；吸气机构，在第二方向上在发光管和与送风机构相反的一侧的侧壁板之间具有吸气口，该吸气口呈沿第一方向延伸的形状；及分隔板，沿第一方向延伸，在第二方向上与发光管分离地配置在发光管的与光出射面相反的一侧，将一对侧壁板直接或者间接地连在一起。

公开(公告)号：CN113178381B

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202110086074.1

申请日：2021-01-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山口将志 ,  竹添法隆 ,  大图将人 ,  有川一树

IPC: H01J65/00 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明的目的在于提供一种设置作业及更换作业简便的准分子灯。具备：发光管，向第一方向延伸，并具有在与上述第一方向不同的第二方向上相对的第一外壁面和第二外壁面，在内侧封入有发光气体；一对电极，设置于上述第一外壁面和上述第二外壁面；一对通电部，配置于上述第一外壁面的上述第一方向上的各端部侧，分别与不同的上述电极连接；一对供电销，被配置为，分别与不同的上述通电部连接，且朝向与上述第二外壁面相反的一侧在上述第二方向延伸；以及一对基座，沿着上述第二方向形成有贯通孔，在内侧具有供上述供电销插通的供电销支承部，固定上述发光管和上述供电销。

公开(公告)号：CN113410122A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110316710.5

申请日：2021-03-15

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 大图将人 ,  竹添法隆 ,  有川一树 ,  山口将志

IPC: H01J65/04 ,  B08B7/00

Abstract: 提供一种紫外线照射装置，即使发光管破裂也能够防止准分子灯向下方掉落，不会将工件或位于装置的下方的作为输送机构的辊弄伤。紫外线照射装置具备：准分子灯，具备对于紫外线具有透射性的长条状的发光管、以在上述发光管的外壁面在上下方向上对置的方式设置的一对电极、以及形成在上述发光管的上侧的内壁面的反射膜；箱体，被配置在上述准分子灯的上侧，保持上述准分子灯的长度方向两端；移动限制体，从上述箱体的下表面朝向上述准分子灯突出；以及防掉落体，被配置在上述准分子灯的下侧；上述防掉落体的至少一部分在从上下方向观察时，以上述移动限制体为基准，在上述准分子灯的长度方向两侧的第1区域及第2区域中与上述发光管重叠。

公开(公告)号：CN113178381A

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN202110086074.1

申请日：2021-01-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 山口将志 ,  竹添法隆 ,  大图将人 ,  有川一树

IPC: H01J65/00 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明的目的在于提供一种设置作业及更换作业简便的准分子灯。具备：发光管，向第一方向延伸，并具有在与上述第一方向不同的第二方向上相对的第一外壁面和第二外壁面，在内侧封入有发光气体；一对电极，设置于上述第一外壁面和上述第二外壁面；一对通电部，配置于上述第一外壁面的上述第一方向上的各端部侧，分别与不同的上述电极连接；一对供电销，被配置为，分别与不同的上述通电部连接，且朝向与上述第二外壁面相反的一侧在上述第二方向延伸；以及一对基座，沿着上述第二方向形成有贯通孔，在内侧具有供上述供电销插通的供电销支承部，固定上述发光管和上述供电销。