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发明公开
光处理装置审中-公开

公开(公告)号：CN119495556A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202410824200.2

申请日：2024-06-25

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 奥村宽 , 山森贤治 , 小林亮 , 大图将人

IPC: H01J61/30 , H01J61/52 , H01J5/02 , H01L21/67

Abstract: 提供消除框体的挠曲所引起的问题的光处理装置。光处理装置具备：对沿输送路径输送的被处理体照射紫外光的光源；框体，在内部具有所述光源，并且具有搬入或者搬出所述被处理体的开口；以及减少包围所述开口的所述框体的热挠曲的热挠曲减少部。

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