准分子灯、光照射装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113178381B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202110086074.1

    申请日:2021-01-22

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种设置作业及更换作业简便的准分子灯。具备:发光管,向第一方向延伸,并具有在与上述第一方向不同的第二方向上相对的第一外壁面和第二外壁面,在内侧封入有发光气体;一对电极,设置于上述第一外壁面和上述第二外壁面;一对通电部,配置于上述第一外壁面的上述第一方向上的各端部侧,分别与不同的上述电极连接;一对供电销,被配置为,分别与不同的上述通电部连接,且朝向与上述第二外壁面相反的一侧在上述第二方向延伸;以及一对基座,沿着上述第二方向形成有贯通孔,在内侧具有供上述供电销插通的供电销支承部,固定上述发光管和上述供电销。

    光照射装置
    2.
    发明公开
    光照射装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117116738A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310575016.4

    申请日:2023-05-22

    Abstract: 提供一种光照射装置,能够适当地抑制被处理物的表面的处理不均。光照射装置(10)具备准分子灯(12)和收容准分子灯(2)且形成有光取出口(11a)的灯室(11),将从光取出口放射的光照射于沿一定的搬运方向搬运的被处理物(30)的表面。准分子灯具备发光管(13)和设于发光管中的与光取出口对置的外表面且以第一开口周期形成有开口的外部电极(14)。在准分子灯(12)与被处理物(30)之间,配置有以第二开口周期形成有开口且对向被处理物照射的光进行减光的减光部件(15)。形成外部电极(14)的开口的线材(14a)以及形成减光部件(15)的开口的线材(15a)的至少一方沿与搬运方向倾斜交叉的方向延伸。

    紫外线照射装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113410122A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110316710.5

    申请日:2021-03-15

    Abstract: 提供一种紫外线照射装置,即使发光管破裂也能够防止准分子灯向下方掉落,不会将工件或位于装置的下方的作为输送机构的辊弄伤。紫外线照射装置具备:准分子灯,具备对于紫外线具有透射性的长条状的发光管、以在上述发光管的外壁面在上下方向上对置的方式设置的一对电极、以及形成在上述发光管的上侧的内壁面的反射膜;箱体,被配置在上述准分子灯的上侧,保持上述准分子灯的长度方向两端;移动限制体,从上述箱体的下表面朝向上述准分子灯突出;以及防掉落体,被配置在上述准分子灯的下侧;上述防掉落体的至少一部分在从上下方向观察时,以上述移动限制体为基准,在上述准分子灯的长度方向两侧的第1区域及第2区域中与上述发光管重叠。

    准分子灯、光照射装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113178381A

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202110086074.1

    申请日:2021-01-22

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种设置作业及更换作业简便的准分子灯。具备:发光管,向第一方向延伸,并具有在与上述第一方向不同的第二方向上相对的第一外壁面和第二外壁面,在内侧封入有发光气体;一对电极,设置于上述第一外壁面和上述第二外壁面;一对通电部,配置于上述第一外壁面的上述第一方向上的各端部侧,分别与不同的上述电极连接;一对供电销,被配置为,分别与不同的上述通电部连接,且朝向与上述第二外壁面相反的一侧在上述第二方向延伸;以及一对基座,沿着上述第二方向形成有贯通孔,在内侧具有供上述供电销插通的供电销支承部,固定上述发光管和上述供电销。

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