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公开(公告)号：CN116018511A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202180055503.7
申请日：2021-08-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/85
Abstract: 提供一种也能够进行全数检查的高速且高精度的片剂分光测量技术。对于由移动机构(400)直线移动中的片剂(P)，由脉冲光照射系统(1)照射脉冲内的经过时间与光的波长一对一地对应的脉冲光，将受光了来自片剂(P)的透射光的受光器(2)的输出经由AD变换器(21)、作为积算机构(6)的FPGA(61)输入到运算机构(3)中，计算分光透射波谱。在测量分光特性波动等的情况下，对于向不同处的多次的脉冲光照射进行分组，分别进行积分而计算分光透射波谱，进行比较。
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公开(公告)号：CN101958221B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201010224850.1
申请日：2010-07-07
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/04
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/0732
Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯，其在发光管内相对配置一对阳极和阴极，提供了下述的电极结构：特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时，阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出，并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于，在阳极前端的前端中央部和周边环状部之间夹持着由比电极材料的屈服应力小的材料构成的缓冲部件，通过该缓冲部件缓和前端中央部的热应力。
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公开(公告)号：CN102024662A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010283491.7
申请日：2010-09-15
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/06
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/0732
Abstract: 提供一种短弧型放电灯，其放射照度维持率高、维持放射亮度，累计放射量多，提高曝光装置的生产性。该灯在发光管(11)内配置阳极(3)及阴极(2)，阳极在阳极前端面(3D)阳极中心轴(L)形成凹部(30)，凹部具有形成于圆周方向的阳极内壁面(30A)、相对阳极中心轴向径向扩展而平坦形成的阳极内底面(30B)、在阳极内壁面(30A)及阳极前端面(3D)边界从阳极中心轴(L)向径向远离而形成于圆周方向的环状角部(30C)，由上述三个构成的凹部从阳极前端面(3D)向着电极内方侧凹下形成，将表示电弧(AR)大小的指标设为D0，将凹部直径设为D1(mm)时，比值D1/D0满足0.25≤D1/D0≤1.2，表示电弧大小的指标D0由下述规定：D0＝1.4+2.5(P-1.6)0.5，P为灯功率(kW)。
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公开(公告)号：CN101964296A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010224695.3
申请日：2010-07-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/04
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/0732
Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯，其在发光管内相对配置一对阳极和阴极，提供了下述的电极结构：特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时，阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出，并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于，在阳极的前端面形成有凹部，在该凹部中插入有由与该阳极相同的材料构成的插入体，在该插入体的后端部和所述凹部之间形成有空间。
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公开(公告)号：CN101399149A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200810166282.7
申请日：2008-09-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/073 , H01J61/52
Abstract: 本发明提供一种放电灯装置，充分实施应对伴随着放电灯的大输出化而产生的高温化的对策，并且也充分具备应对电极损耗的情况的对策。本发明的放电灯装置的特征在于，包括：在发光管的内部相对配置有一对电极(2、3)的放电灯(10)、和监视放电灯(10)的点亮状态的测量单元(30)，测量单元(30)对由于电极伴随着该放电灯(10)的点亮而损耗或破损导致从内部漏出传热体(M)时产生的发光进行检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118056122A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202280066934.8
申请日：2022-10-19
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 山田刚
Abstract: 本发明涉及光测定方法以及光测定装置，即使不使被测定物的配置与光照射的定时相匹配、也能够不遗漏移动的被测定物而准确地进行测定。在光测定装置(100)中，照明装置(200)对于被测定物(OBJ)通过的照射区域，以规定的重复频率照射波长随时间变化的脉冲光(SIN)。光检测器(302)对来自被照射脉冲光(SIN)的被测定物(OBJ)的光(SOBJ)进行受光。光检测器(302)生成的检测信号被利用于被测定物(OBJ)的分光光谱的运算。当设脉冲光(SIN)的重复频率为f[Hz]，被测定物(OBJ)的移动方向的有效尺寸为D[m]，被测定物(OBJ)的移动速度为v[m/s]，被测定物(OBJ)的表面上的脉冲光的照射点的移动方向的尺寸为d[m]时，满足(f·(D‑d)/v)≥2.0……(1)。
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公开(公告)号：CN102024662B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201010283491.7
申请日：2010-09-15
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/06
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/0732
Abstract: 提供一种短弧型放电灯，其放射照度维持率高、维持放射亮度，累计放射量多，提高曝光装置的生产性。该灯在发光管(11)内配置阳极(3)及阴极(2)，阳极在阳极前端面(3D)阳极中心轴(L)形成凹部(30)，凹部具有形成于圆周方向的阳极内壁面(30A)、相对阳极中心轴向径向扩展而平坦形成的阳极内底面(30B)、在阳极内壁面(30A)及阳极前端面(3D)边界从阳极中心轴(L)向径向远离而形成于圆周方向的环状角部(30C)，由上述三个构成的凹部从阳极前端面(3D)向着电极内方侧凹下形成，将表示电弧(AR)大小的指标设为D0，将凹部直径设为D1(mm)时，比值D1/D0满足0.25≤D1/D0≤1.2，表示电弧大小的指标D0由下述规定：D0＝1.4+2.5(P-1.6)0.5，P为灯功率(kW)。
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公开(公告)号：CN102376522A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110187735.6
申请日：2011-06-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/073
CPC classification number: H01J61/0732 , H01J61/526 , H01J61/86
Abstract: 一种短弧型放电灯，在发光管的内部具有一对电极，至少在一个电极的密闭空间封入有导热体，在灯点灯时，当熔融的导热体对流时，防止以下情况：电极的局部、尤其是前端产生温度变动，产生高温蠕变，电极前端变形并开孔。其特征在于设有限制体，在形成于上述电极的密闭空间内，当熔融导热体对流时，限制该对流在上述密闭空间内向圆周方向转动。
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公开(公告)号：CN101399149B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200810166282.7
申请日：2008-09-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/073 , H01J61/52
Abstract: 本发明提供一种放电灯装置，充分实施应对伴随着放电灯的大输出化而产生的高温化的对策，并且也充分具备应对电极损耗的情况的对策。本发明的放电灯装置的特征在于，包括：在发光管的内部相对配置有一对电极(2、3)的放电灯(10)、和监视放电灯(10)的点亮状态的测量单元(30)，测量单元(30)对由于电极伴随着该放电灯(10)的点亮而损耗或破损导致从内部漏出传热体(M)时产生的发光进行检测。
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公开(公告)号：CN101958221A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010224850.1
申请日：2010-07-07
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J61/04
CPC classification number: H01J61/86 , H01J61/0732
Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯，其在发光管内相对配置一对阳极和阴极，提供了下述的电极结构：特别是在重复进行额定功率下的通常点灯和以比额定功率小的功率点灯的待机点灯的满载/待机点灯时，阳极前端中央部也不会比其周边环状部突出，并不产生电极材料的蒸发引起的灯的变黑。其特征在于，在阳极前端的前端中央部和周边环状部之间夹杂有由比电极材料的屈服应力小的材料构成的缓冲部件，通过该缓冲部件缓和前端中央部的热应力。
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