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公开(公告)号：CN1763511A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510113806.2
申请日：2005-10-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。
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公开(公告)号：CN1763511B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200510113806.2
申请日：2005-10-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。
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公开(公告)号：CN1573280A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047546.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种图形检查装置，即使在基板上形成具有如粘合剂层这样的微小凹凸的层，也能够无误识别地利用透射光自动进行图形检查。利用带传送机构向检查部传送TAB带上的图形，从透射照明装置照射照明光，用CCD线性传感器拍摄图形。透射照明装置由倾斜配置的2个照明装置构成，从倾斜方向照射照明光。拍摄的图像传送到控制部，与检查用的母型图像进行比较，判断图形是否合格。也可以代替倾斜配置透射照明装置，从CCD线性传感器(1b)的视场外照射照明光，或用遮光板覆盖CCD线性传感器的视场内。由于透射照明装置作成上述结构，能够对TAB带照射适度的漫射光，能够得到无斑点或无不均的图像。
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公开(公告)号：CN102023493A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010287745.2
申请日：2010-09-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 永森进一
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7073 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种工件对准标志的检测方法及曝光装置，即使形成于工件的图案的图像的对比度低的情形，也可作成不会误检测工件标志而可确实地检测。对准显微镜(10)是例如可切换成3倍倍率与10倍倍率，在工件(W)上设有对于工件标志(WAM)，及对比度工件标志(WAM)还要高并且容易看到的工件标志(WAM)位于预定的相对位置的搜索标志。首先，将对准显微镜作成3倍倍率，来检测形成于工件上的上述搜索标志。当搜索标志被检测，则工件标志(WAM)进入10倍倍率的对准显微镜(10)的视野的方式移动工件平台(WS)，以10倍倍率来检测工件标志(WAM)。因此，可确实地检测工件标志，而可进行标志与工件的对位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100472204C
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200410062908.1
申请日：2004-07-01
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 提供一种布线图形的检查装置，通过组合利用反射照明和反射照明的检查，能够缩短检查时间。利用带传送机构(10)向检查部(1)传送TAB带(5)上的图形(5a)，从透射照明装置(1a)照射照明光，用CCD线性传感器(1c)摄取图形(5a)的透射照明图像，并且，从反射照明装置(1b)照射照明光，摄取上述图形(5a)的反射照明图像。摄取的图像送入控制部(4)。控制部(4)，将透射照明图像的图形与第1标准图形进行比较，进行上述图形(5a)的检查，对于被判断为不合格候补的图形(5a)，将与该不合格部分对应的位置上的反射照明图像的图形和第2标准图形进行比较，判定上述图形(5a)是否合格。
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公开(公告)号：CN1573279A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410038466.7
申请日：2004-04-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供图形检查方法及装置。其中，在基板上即使形成粘接剂层这样的具有微小凹凸的层，也可以进行用透射光进行的图形自动检查并没有误识别。TAB带(5)由送出卷轴(11)送出，在液体涂敷部(2)涂敷水、酒精等液体，然后传送到检查部(1)。在检查部(1)，对TAB带(5)照射从透射照明装置(1a)发出的照明光，透过成为检查对象的TAB带(5)的图形的光输入到受像装置(1b)，并拍摄在TAB带(5)上形成的图形。用受像装置(1b)拍摄的图形，被送到控制部(4)进行图像处理，并与用于检查的标准图形相比较来判定合格与否。由于在TAB带(5)的粘接剂层上涂敷了液体的状态下拍摄图形，因此可以得到无因漫反射而导致的斑痕和斑点的图像。
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公开(公告)号：CN100395519C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200410047546.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种图形检查装置，即使在基板上形成具有如粘合剂层这样的微小凹凸的层，也能够无误识别地利用透射光自动进行图形检查。利用带传送机构向检查部传送TAB带上的图形，从透射照明装置照射照明光，用CCD线性传感器拍摄图形。透射照明装置由倾斜配置的2个照明装置构成，从倾斜方向照射照明光。拍摄的图像传送到控制部，与检查用的母型图像进行比较，判断图形是否合格。也可以代替倾斜配置透射照明装置，从CCD线性传感器(1b)的视场外照射照明光，或用遮光板覆盖CCD线性传感器的视场内。由于透射照明装置作成上述结构，能够对TAB带照射适度的漫射光，能够得到无斑点或无不均的图像。
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公开(公告)号：CN100395518C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200410038466.7
申请日：2004-04-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供图形检查方法及装置。其中，在基板上即使形成粘接剂层这样的具有微小凹凸的层，也可以进行用透射光进行的图形自动检查并没有误识别。TAB带(5)由送出卷轴(11)送出，在液体涂敷部(2)涂敷水、酒精等液体，然后传送到检查部(1)。在检查部(1)，对TAB带(5)照射从透射照明装置(1a)发出的照明光，透过成为检查对象的TAB带(5)的图形的光输入到受像装置(1b)，并拍摄在TAB带(5)上形成的图形。用受像装置(1b)拍摄的图形，被送到控制部(4)进行图像处理，并与用于检查的标准图形相比较来判定合格与否。由于在TAB带(5)的粘接剂层上涂敷了液体的状态下拍摄图形，因此可以得到无因漫反射而导致的斑痕和斑点的图像。
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公开(公告)号：CN1576831A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410062908.1
申请日：2004-07-01
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 提供一种布线图形的检查装置，通过组合利用反射照明和反射照明的检查，能够缩短检查时间。利用带传送机构(10)向检查部(1)传送TAB带(5)上的图形(5a)，从透射照明装置(1a)照射照明光，用CCD线性传感器(1c)摄取图形(5a)的透射照明图像，并且，从反射照明装置(1b)照射照明光，摄取上述图形(5a)的反射照明图像。摄取的图像送入控制部(4)。控制部(4)，将透射照明图像的图形与第1标准图形进行比较，进行上述图形(5a)的检查，对于被判断为不合格候补的图形(5a)，将与该不合格部分对应的位置上的反射照明图像的图形和第2标准图形进行比较，判定上述图形(5a)是否合格。
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