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公开(公告)号：CN101016977A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200710005465.6
申请日：2007-02-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是针对通过反射镜反射来自于灯的光，对被照射物照射的光照射器，提供灯的中心与反射镜的第1焦点位置不会偏离地被支承的光照射器与灯。所述光照射器具备：具有一对电极，在两端安装有基座的放电灯；设置于放电灯的两侧，在基座支承放电灯的一组灯支承构件；以及反射来自于放电灯的光的反射镜的光照射器，在基座的端面的与连结一对电极的假想直线的交点位置，形成有凹部或凸部。并且，在灯支承构件，于前端形成有卡合于形成在基座的端面的凹部或凸部的凸部或凹部的一对销相对向地被配置着，并且连结两前端的假想直线与反射镜的第1焦点一致。
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公开(公告)号：CN101016977B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200710005465.6
申请日：2007-02-08
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的是针对通过反射镜反射来自于灯的光，对被照射物照射的光照射器，提供灯的中心与反射镜的第1焦点位置不会偏离地被支承的光照射器与灯。所述光照射器具备：具有一对电极，在两端安装有基座的放电灯；设置于放电灯的两侧，在基座支承放电灯的一组灯支承构件；以及反射来自于放电灯的光的反射镜的光照射器，在基座的端面的与连结一对电极的假想直线的交点位置，形成有凹部或凸部。并且，在灯支承构件，于前端形成有卡合于形成在基座的端面的凹部或凸部的凸部或凹部的一对销相对向地被配置着，并且连结两前端的假想直线与反射镜的第1焦点一致。
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公开(公告)号：CN101325145A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810130241.2
申请日：2008-06-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种紫外线放电灯，通过挡风部件防止管端部的过冷却，并且能够切实地冷却密封部，并且密封部的热容量不会比以往大，不是将挡风部件固定在密封部，而是固定在基座上，将管端部保温，并且在挡风部件的与密封部相当的位置上，在冷却风进来的方向和冷却风被排出的方向上设置贯通孔，确保用于冷却密封部的冷却风的通风路径。
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公开(公告)号：CN1854900A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610074623.9
申请日：2006-04-20
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G02F1/1337
Abstract: 本发明的课题是防止因掩膜的弯曲产生的消光比的下降和偏振轴的偏差。在本发明，从光照射部(10)射出的偏振光经由掩膜(M)，相对于基板(W)的取向膜入射角度呈θ地倾斜入射。在光照射部的偏振元件(13)的光入射侧设置具有光透射窗(17a)的第一隔壁(17)，在光照射部的光射出侧设置覆盖掩膜及掩膜的周围的第二隔壁(18)。从第一隔壁至第二隔壁的空间(S)，用排气孔(16b)上设置的风扇(40)等的排气机构进行减压。由此，被掩膜台(20)保持的掩膜从压力高的光射出侧向压力低的光入射侧推压而抬起，矫正由掩膜的自重产生的弯曲。掩膜的弯曲被矫正，所以从光照射部射出的偏振光以相等的角度入射到掩膜，可以防止消光比下降和偏振轴偏差。
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