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公开(公告)号：CN101629708B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200910160428.1
申请日：2009-07-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 一种准分子灯装置，将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，不会有灯支撑体与被处理物的摩擦，消除由于隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化，且防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。该准分子灯装置(1)具备：筐体(1)；被筐体支撑的悬架体(4)；被悬架体支撑的灯支撑体(6)，被灯支撑体支撑的准分子灯(5)，以及，设于准分子灯与悬架体之间的隔壁(7)；灯支撑体松嵌合于设在隔壁上的贯通孔(8)并被悬架体支撑。而且，设置有调整灯支撑体相对于悬架体的上下方向的位置的调整机构，设置有防止气体通过贯通孔与松嵌合于贯通孔的灯支撑体之间的遮蔽机构。
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公开(公告)号：CN101404188B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200810161940.3
申请日：2008-10-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种紫外线照射装置，固定紫外线灯的基板不会变形，能够将紫外线灯与处理物的分离距离保持恒定，能够均匀地处理被加热物。本发明的紫外线照射装置，具有管形的紫外线灯(1)，该紫外线照射装置(D1)配置在上方具有开口的处理室(9)的上部，其特征在于，包括支撑紫外线灯(1)的基板(2)、用于使紫外线灯(1)点亮的点亮单元(41、42)、以及设置有点亮单元(41、42)的架设板(5)，基板(2)的紫外线灯(1)管轴方向的两端(A)设置在支撑体(93)上，该支撑体(93)支撑设置在处理室(9)的紫外线照射装置，架设板(5)的中央部分与基板(2)分离，架设板(5)的自身重量施加到支撑体(93)上。
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公开(公告)号：CN102419496B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110258089.8
申请日：2011-09-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。
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公开(公告)号：CN101629708A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910160428.1
申请日：2009-07-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 一种准分子灯装置，将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，不会有灯支撑体与被处理物的摩擦，消除由于隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化，且防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。该准分子灯装置(1)具备：筐体(1)；被筐体支撑的悬架体(4)；被悬架体支撑的灯支撑体(6)，被灯支撑体支撑的准分子灯(5)，以及，设于准分子灯与悬架体之间的隔壁(7)；灯支撑体松嵌合于设在隔壁上的贯通孔(8)并被悬架体支撑。而且，设置有调整灯支撑体相对于悬架体的上下方向的位置的调整机构，设置有防止气体通过贯通孔与松嵌合于贯通孔的灯支撑体之间的遮蔽机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101527255A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200910004700.7
申请日：2009-03-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , B08B7/00 , H01L21/312 , G03F7/26
Abstract: 本发明的目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置，具有：多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
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公开(公告)号：CN101404188A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810161940.3
申请日：2008-10-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种紫外线照射装置，固定紫外线灯的基板不会变形，能够将紫外线灯与处理物的分离距离保持恒定，能够均匀地处理被加热物。本发明的紫外线照射装置，具有管形的紫外线灯(1)，该紫外线照射装置(D1)配置在上方具有开口的处理室(9)的上部，其特征在于，包括支撑紫外线灯(1)的基板(2)、用于使紫外线灯(1)点亮的点亮单元(41、42)、以及设置有点亮单元(41、42)的架设板(5)，基板(2)的紫外线灯(1)管轴方向的两端(A)设置在支撑体(93)上，该支撑体(93)支撑设置在处理室(9)的紫外线照射装置，架设板(5)的中央部分与基板(2)分离，架设板(5)的自身重量施加到支撑体(93)上。
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公开(公告)号：CN101527255B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910004700.7
申请日：2009-03-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/268 , B08B7/00 , H01L21/312 , G03F7/26
Abstract: 本发明是目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置，具有：多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
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公开(公告)号：CN102419496A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110258089.8
申请日：2011-09-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。
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公开(公告)号：CN101539253A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910128019.3
申请日：2009-03-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供光传感器及具备此光传感器的灯单元，以简单的构造，可防止因不期望的负荷所致的准分子灯的破损，并且可抑制因氧浓度变动的大气的对流所引起的测定值变动。用以解决课题的手段为，一种灯单元，包括：用来放射紫外线的准分子灯、接收紫外线的光传感器、及至少收容保持光传感器的框体，其特征为：光传感器具有检测可见光的光检测体、附设于光检测体的筒状的保持体，能够移动地保持于保持体内并且以可抵接于准分子灯的方式被设置的筒状或柱状的可动体，来自于准分子灯的供紫外线透过的透过构件、与将透过透过构件的紫外线变换成可见光的变换构件设置成，受到该光检测体、该保持体、该可动体所包围。
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