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公开(公告)号：CN106457467A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580027326.6
申请日：2015-05-12
Applicant: 伯格利-格拉维瑞斯股份有限公司
CPC classification number: B23K26/066 , B23K26/046 , B23K26/0624 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/1224 , B23K26/127 , B23K26/1462 , B23K26/16
Abstract: 光束引导变型2中，加入的透镜系统(16)、场透镜本发明涉及一种用于将飞秒或皮秒激光束 系统(8)和成像透镜(10)以这样的方式相对于彼束脉冲组成的激光束(2)在光轴的位置处形成以 之间生成焦点(22)。存在围绕焦点(19)和焦点产生具有扩展的激光束横截面的激光束脉冲或 (22)的区域的至少一个真空容器。具有减小的激光束横截面的激光束脉冲，并且所述激光束(2)在激光束横截面上具有均匀强度分布。具有预定光阑孔径几何形状的光阑(6)和具有预定掩模孔径几何形状的掩模(7)连续地定位在该位置处的光束(2)路径中。该设备还包括场透镜系统(8)和成像透镜(10)，其以这样的方式定位，使得由光阑(6)和掩模(7)透射的激光束(2)脉冲的非衍射和衍射光束分量借助于场透镜系统(8)以这样的方式被引导到具有预定孔径的成像透镜(10)中，使得由光阑(6)和掩模(7)生成的强度剖面的在每个细节上精确并且具有预定成像比的缩小图像在成像平面中的激光束脉冲的激光束横截面上生成。在光束引导变型1中，加(2)掩模投射到衬底表面上的设备，其中由激光 此定位，使得在场透镜系统(8)和成像透镜(10)
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公开(公告)号：CN106457467B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201580027326.6
申请日：2015-05-12
Applicant: 伯格利-格拉维瑞斯股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于将飞秒或皮秒激光束掩模投射到衬底表面上的设备，其中由激光束脉冲组成的激光束在光轴的位置处形成以产生具有扩展的激光束横截面的激光束脉冲或具有减小的激光束横截面的激光束脉冲，并且所述激光束在激光束横截面上具有均匀强度分布。该设备还包括场透镜系统和成像透镜，其以这样的方式定位，使得由光阑和掩模透射的激光束脉冲的非衍射和衍射光束分量借助于场透镜系统以这样的方式被引导到具有预定孔径的成像透镜中，使得由光阑和掩模生成的强度剖面的在每个细节上精确并且具有预定成像比的缩小图像在成像平面中的激光束脉冲的激光束横截面上生成。
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