辐射敏感性树脂组合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1975574A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200610160484.1

    申请日:2006-11-28

    Inventor: 中野由子

    Abstract: 一种辐射敏感树脂组合物,其包含碱可溶性固化性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、含有鎓阳离子和选自式(1)给出的阴离子和式(2)给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂(C),和溶剂(H),其中R1-R3、R11和R33各自独立地代表具有1-20个碳原子的直链全氟烷基、具有3-20个碳原子的支链全氟烷基、具有3-20个碳原子的环状全氟烷基、或具有6-20个碳原子的全氟芳基,基团-O-、-N(R)-、或-SO2-中的任一个可插入上述每个基团的碳原子之间(R代表氢原子或具有1-4个碳原子的烷基),R11和R33或R1-R3中的任意两个可结合形成环结构并且一个或两个环结构可形成杂环。

    感光性树脂组合物
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101295136B

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN200810095943.1

    申请日:2008-04-25

    Inventor: 中野由子

    Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明提供可以以高分辨形成耐溶剂性和耐热性优异的固化树脂图案的新型感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物含有粘合剂成分(A)和光聚合引发剂(B),粘合剂成分(A)含有光聚合性化合物(A1)和光聚合性化合物(A2),其中,光聚合性化合物(A1)具有1个或以上羧基和2个或以上可光聚合的不饱和键,光聚合性化合物(A2)不具有羧基;粘合剂成分(A)的重均分子量为1,500或以下。

    辐射敏感性树脂组合物
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1975574B

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN200610160484.1

    申请日:2006-11-28

    Inventor: 中野由子

    Abstract: 一种辐射敏感树脂组合物,其包含碱可溶性固化性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、含有鎓阳离子和选自式(1)给出的阴离子和式(2)给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂(C),和溶剂(H),其中R1-R3、R11和R33各自独立地代表具有1-20个碳原子的直链全氟烷基、具有3-20个碳原子的支链全氟烷基、具有3-20个碳原子的环状全氟烷基、或具有6-20个碳原子的全氟芳基,基团-O-、-N(R)-、或-SO2-中的任一个可插入上述每个基团的碳原子之间(R代表氢原子或具有1-4个碳原子的烷基),R11和R33或R1-R3中的任意两个可结合形成环结构并且一个或两个环结构可形成杂环。

    感光性树脂组合物
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101295136A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810095943.1

    申请日:2008-04-25

    Inventor: 中野由子

    Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明提供可以以高分辨形成耐溶剂性和耐热性优异的固化树脂图案的新型感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物含有粘合剂成分(A)和光聚合引发剂(B),粘合剂成分(A)含有光聚合性化合物(A1)和光聚合性化合物(A2),其中,光聚合性化合物(A1)具有1个或以上羧基和2个或以上可光聚合的不饱和键,光聚合性化合物(A2)不具有羧基;粘合剂成分(A)的重均分子量为1,500或以下。

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