公开(公告)号：CN101845008A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010144660.9

申请日：2010-03-24

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  重松淳二 ,  朴汉雨

IPC: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07D307/93 ,  C07D307/33 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供由式(Ia)表示的锍化合物、包含该锍化合物和树脂的化学放大型光致抗蚀剂组合物以及制备该锍化合物的方法。在式(Ia)表示的锍化合物中，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1表示具有β-酮酯结构的C5-C42有机基团，并且A+表示有机抗衡离子。本发明的化学放大型光致抗蚀剂组合物包含上述锍化合物和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。