公开(公告)号：CN102162995A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN201110038475.6

申请日：2011-02-14

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  山口训史

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  C07C321/30 ,  C07C319/20 ,  C07D215/58 ,  C07D207/48 ,  C07D211/96

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07D211/96 ,  C07D215/58 ,  C07D295/26 ,  C07D409/02 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述的光致抗蚀剂组合物含有：包含由式(IA)表示的阴离子的锍盐，其中R1和R2独立地表示氢原子、C1-C12脂族烃基、C3-C20饱和环烃基、C6-C20芳族烃基或C7-C21芳烷基，并且所述脂族烃基、所述饱和环烃基、所述芳族烃基和所述芳烷基可以具有一个或多个选自由羟基、氰基、氟原子、三氟甲基和硝基组成的组中的取代基，并且所述脂族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，或R1和R2相互结合以与它们连接的氮原子一起形成C4-C20含氮环；丙烯酸类树脂，其具有酸不稳定基团，并且不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；和酸生成剂。

公开(公告)号：CN102746457A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210112342.3

申请日：2012-04-16

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  市川幸司

IPC: C08F222/14 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F222/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/38 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/2041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供树脂和包含所述树脂和产酸剂的光刻胶组合物，所述树脂包含衍生自式(I)所表示的化合物的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，A2表示二价含氟C1-C12烃基，并且A1表示由式(a-g1)所表示的基团：其中A10在每次出现时独立地为C1-C5脂肪族烃基，A11表示C1-C5脂肪族烃基，X10在每次出现时独立地为-O-、-CO-、-CO-O-或-O-CO-，并且s表示0至2的整数。

公开(公告)号：CN102043338A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010530371.2

申请日：2010-10-20

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  平冈崇志

IPC: G03F7/004 ,  C07C309/17 ,  C07C211/64 ,  C07C229/38 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C211/63 ,  C07C211/64 ,  C07C215/40 ,  C07C215/66 ,  C07C215/90 ,  C07C217/52 ,  C07C217/58 ,  C07C225/16 ,  C07C229/14 ,  C07C229/38 ,  C07C255/58 ,  C07C309/10 ,  C07C309/12 ,  C07C309/17 ,  C07C311/16 ,  C07C2601/04 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2601/18 ,  C07C2602/02 ,  C07C2602/20 ,  C07C2602/24 ,  C07C2602/28 ,  C07C2602/42 ,  C07C2602/44 ,  C07C2603/18 ,  C07C2603/24 ,  C07C2603/66 ,  C07C2603/68 ,  C07C2603/74 ,  C07C2603/90 ,  C07D307/00 ,  C07D307/32 ,  C07D307/33 ,  C07D309/30 ,  C07D313/04 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，其包含：通过辐射能够产生酸和碱的化合物；一种具有酸不稳定性基团且不溶于或微溶于碱性水溶液的树脂，该树脂在酸的作用下变得可溶于碱性水溶液；以及一种产酸剂。

公开(公告)号：CN101898984A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN201010188195.9

申请日：2010-05-25

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  增山达郎

IPC: C07C323/20 ,  C07C309/17 ,  C07D307/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07D493/18 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/33 ,  C07D307/77 ,  C07D307/93 ,  C07D309/06 ,  C07D309/30 ,  C07D313/04 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种由式(I-BB)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等，X1表示单键等，Y1表示C1-C36脂族烃基等，A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等，Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，B1表示单键等，B2表示具有一个或多个-OXa基团并且不能通过酸的作用消除的C4-C36脂环族烃基等，并且Xa表示氢原子或能通过酸的作用消除的基团，m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数。

公开(公告)号：CN102023484A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN201010284067.4

申请日：2010-09-13

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  畑光宏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  C07C271/22

CPC classification number: C07C271/22 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂、酸生成剂和由式(I)表示的化合物：其中R1，R2和R3各自独立表示氢原子或C1-C4烷基，A1表示单键或C1-C2亚烷基，R4和R5各自独立表示氢原子或C1-C2烷基，R6和R7各自独立表示氢原子等。

公开(公告)号：CN101899027A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN201010188312.1

申请日：2010-05-25

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  增山达郎

IPC: C07D307/33 ,  C07D307/00 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07D307/80 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种以式(I-AA)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，X1表示单键等，Y1表示C1-C36脂族烃基等，A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等，Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，B1表示单键等，m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式(I-AA)表示的盐和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。

公开(公告)号：CN101845008A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010144660.9

申请日：2010-03-24

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  重松淳二 ,  朴汉雨

IPC: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07D307/93 ,  C07D307/33 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供由式(Ia)表示的锍化合物、包含该锍化合物和树脂的化学放大型光致抗蚀剂组合物以及制备该锍化合物的方法。在式(Ia)表示的锍化合物中，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1表示具有β-酮酯结构的C5-C42有机基团，并且A+表示有机抗衡离子。本发明的化学放大型光致抗蚀剂组合物包含上述锍化合物和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。

公开(公告)号：CN101638374A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910165057.6

申请日：2009-07-24

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  桥本和彦 ,  平冈崇志 ,  武元一树

IPC: C07C309/70 ,  C07D309/12 ,  C07C303/28 ,  C08F222/24 ,  C08F220/18 ,  C08F122/24 ,  G03F7/004

Abstract: 一种由结构式(I)表示的肟类化合物，其中，Y代表未被取代的或被取代的n价C6-C14芳烃基，n代表1至6的整数，R1代表C1-C30脂肪烃基等，R2代表直链或支链C1-C20脂肪烃基等，W代表-CO-O-等，Q1和Q2各自独立地代表氟原子等，Z代表C1-C20卤代脂肪烃基等。本文还公开了包含该化合物的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN102816097A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210186846.X

申请日：2012-06-07

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  向井优一

IPC: C07C381/12 ,  C07C309/10 ,  C07C303/32 ,  C07D321/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07D321/10 ,  C07C309/10 ,  C07C309/12 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。本发明公开一种由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A1表示C1-C30一价有机基团，X1表示其中氢原子可以被羟基代替的C1-C10脂族烃基，m1和m2各自独立地表示1至4的整数，以及Z+表示有机阳离子。

公开(公告)号：CN102043336A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010516733.2

申请日：2010-10-13

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  桥本和彦 ,  重松淳二

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  C08F120/34 ,  C08F220/34 ,  C08F222/24 ,  C08F222/14 ,  C08F122/22 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C07C251/66

CPC classification number: C08F120/34 ,  C07C251/66 ,  C07C309/70 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含：一种包含衍生自通式(I)所示化合物的结构单元的聚合物：其中，R1表示氢原子或甲基；R2表示可具有一个以上取代基的C6-C12芳烃基；R3表示氰基或者可具有一个以上取代基并可包含一个以上杂原子的C1-C12烃基；A1表示单键、-(CH2)g-CO-O-*或-(CH2)h-O-CO-(CH2)i-CO-O-*，其中g、h和i各自独立表示1至6的整数，并且*表示与氮原子的成键位置，一种具有酸不稳定性基团并且不溶于或微溶于碱性水溶液的树脂，但是该树脂通过酸的作用可变得溶于碱性水溶液；以及一种产酸剂。