公开(公告)号：CN1721992B

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200510082178.6

申请日：2005-07-04

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 李荣浚 ,  渡边康弘 ,  宫川贵行

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F293/005 ,  C08L53/00 ,  G03F7/0392 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明提供一种星形聚合物及制备该星形聚合物的方法，所述的星形聚合物包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为1,000至100,000，其中至少一个分支包含至少一个选自下面的重复单元(1)、(2)、(3)、(4)和(9)中的重复单元。本发明还提供一种包含星形聚合物和酸生成剂的化学放大正型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1721992A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510082178.6

申请日：2005-07-04

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 李荣浚 ,  渡边康弘 ,  宫川贵行

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F293/005 ,  C08L53/00 ,  G03F7/0392 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明提供一种星形聚合物及制备该星形聚合物的方法，所述的星形聚合物包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为1,000至100,000，其中包含至少一个重复单元的至少一个分支选自下面的重复单元(1)、(2)、(3)、(4)和(9)。本发明还提高一种包含星形聚合物和酸生成剂的化学放大正型抗蚀剂组合物。