公开(公告)号：CN1755523A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510106482.X

申请日：2005-09-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山本敏 ,  花元幸夫 ,  桑名耕治

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/033

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供一种化学放大型光刻胶组合物，其包含处理过的树脂(1)、酸生成剂和溶剂，其中树脂(1)是：(a)(甲基)丙烯酸类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含在它的侧链中含有脂环族烃基的重复单元；或(b)苯乙烯类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含衍生自羟基苯乙烯的重复单元，并且其中处理过的树脂(1)是通过下面的方法得到的：(A)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳接触，得到半处理的粗树脂(1)，和半处理的粗树脂(1)与选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触，或(B)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳和选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触。

公开(公告)号：CN1755523B

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200510106482.X

申请日：2005-09-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山本敏 ,  花元幸夫 ,  桑名耕治

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/033

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供一种化学放大型光刻胶组合物，其包含处理过的树脂(1)、酸生成剂和溶剂，其中树脂(1)是：(a)(甲基)丙烯酸类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含在它的侧链中含有脂环族烃基的重复单元；或(b)苯乙烯类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含衍生自羟基苯乙烯的重复单元，并且其中处理过的树脂(1)是通过下面的方法得到的：(A)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳接触，得到半处理的粗树脂(1)，和半处理的粗树脂(1)与选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触，或(B)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳和选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触。