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公开(公告)号：CN115509033A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202210538074.5
申请日：2022-05-17
Applicant: 住友电气工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种光调制器。光调制器具备：具有包含第一区及第二区的主面的衬底；设置于第一区上的光调制部；以及设置于第二区上的光波导部。光调制部具备：第一台面波导；以及与第一台面波导连接的电极。第一台面波导具备：设置于衬底上的p型半导体层、设置于p型半导体层上的第一芯层、以及设置于第一芯层上的n型半导体层。光波导部具备第二台面波导。第二台面波导具备：设置于衬底上的第一包覆层；设置于第一包覆层上的第二芯层；以及设置于第二芯层上的第二包覆层。第二芯层与第一芯层光学耦合。第一包覆层包含p型掺杂剂以及质子。第二包覆层包含n型掺杂剂。
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