公开(公告)号：CN116917723A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202180094944.8

申请日：2021-04-28

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 星名丰 ,  德田一弥 ,  斋藤吉广

IPC: G01N23/2273

Abstract: 本发明的数据解析装置具有：输入部，其从测定光电子信号的光电子能谱装置接受光电子信号的测定值，光电子信号是利用光电子能谱从试样产生的；以及解析部，其使用将试样模型化为由多个层构成的层叠体时的光电子信号的理论值，通过将光电子信号的理论值与光电子信号的测定值之间的偏差平方和最小化来解析试样的深度分布，解析部在偏差平方和的最小化中，以满足试样的化学物质的相对浓度在层叠体的多个层之间平滑地变化的最大平滑条件的方式计算相对浓度。

公开(公告)号：CN118679284A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202280091084.7

申请日：2022-09-16

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 木山诚 ,  斋藤吉广 ,  星名丰 ,  中山阳次郎

IPC: C30B29/42

Abstract: 本发明提供一种砷化镓单晶基板，其具有圆形的主表面，并且具有第一积分强度比或第二积分强度比。第一积分强度比和第二积分强度比能够基于规定的X射线光电子能谱法通过砷和镓的图谱求出。第一积分强度比是作为一氧化二镓存在的镓元素的积分强度与作为三氧化二镓存在的镓元素的积分强度的和相对于作为砷化镓存在的镓元素的积分强度的比率，为12以下。第二积分强度比是作为一氧化二镓存在的镓元素的积分强度与作为三氧化二镓存在的镓元素的积分强度的和相对于作为五氧化二砷存在的砷元素的积分强度与作为三氧化二砷存在的砷元素的积分强度的和的比率，为1.2以下。长径为0.16μm以上的颗粒的个数在每1cm2的主表面中为2个以下。