公开(公告)号：CN113652647A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110941429.0

申请日：2021-08-16

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Inventor： 蒋毅 ,  刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  李宏盛

IPC: C23C14/22

Abstract: 本申请涉及一种防护挡板更换设备及其更换方法、镀膜机防护挡板，设备包括移动底座，拆装机构，第一衬板托和第二衬板托；第一衬板托用于放置待更换的干净衬板，第二衬板托用于放置不干净衬板；移动底座用于运动至真空镀膜机腔门前指定位置，拆装机构用于将镀膜机腔体内的干净衬板拆卸下来放入第二衬板托，并从第一衬板托取出干净衬板安装到对应位置处；该技术方案降低了操作的复杂度，提升了更换效率。该防护挡板包括多块整板设计的衬板，衬板上方边缘设有若干个挂钩孔，在镀膜机的腔体内部周围空间的上，沿着腔体内壁布设有多个挂钩，用于勾住所述挂钩孔，将衬板吊挂在镀膜机的腔体内部周围；该防护挡板便于生产，便于安装拆卸，节省设备成本。

公开(公告)号：CN115976477A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211601128.4

申请日：2022-12-12

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Inventor： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  蒋毅 ,  易洪波 ,  李宏盛 ,  赵刚

IPC: C23C14/34

Abstract: 本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，第一旋转结构设于支撑轴的一端，使得连接组件绕支撑轴进行转动；各个子背板的背面中心位置连接有第二旋转结构，使得子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个子背板上的第二旋转结构的连接组件通过连接到第一旋转结构上；其中，各个子背板的第二旋转结构通过所述连接组件在背板平面上进行扩张和收缩移动。该技术方案，提升了调整效率以及更换靶材的效率。

公开(公告)号：CN115976477B

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202211601128.4

申请日：2022-12-12

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Inventor： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  蒋毅 ,  易洪波 ,  李宏盛 ,  赵刚

IPC: C23C14/34

Abstract: 本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，第一旋转结构设于支撑轴的一端，使得连接组件绕支撑轴进行转动；各个子背板的背面中心位置连接有第二旋转结构，使得子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个子背板上的第二旋转结构的连接组件通过连接到第一旋转结构上；其中，各个子背板的第二旋转结构通过所述连接组件在背板平面上进行扩张和收缩移动。该技术方案，提升了调整效率以及更换靶材的效率。

公开(公告)号：CN216714821U

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202220096229.X

申请日：2022-01-14

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Inventor： 蒋毅 ,  刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  李宏盛

IPC: F04D29/52 ,  F04D19/04 ,  F04D25/16 ,  C23C14/56

Abstract: 本申请涉及一种泵腔室结构、真空腔室及真空镀膜机；所述泵腔室结构，应用于真空镀膜机，包括：分设在真空腔室的工作腔室外侧的多个泵腔室；其中，各个所述泵腔室分别内置有真空泵；所述真空泵用于同步对工作腔室进行抽真空；所述泵腔室包括分设在工作腔室两侧的第一泵腔室和第二泵腔室；其中，所述第一泵腔室和第二泵腔室对称设计；该技术方案，基于多个泵腔室连接的真空泵同时抽气，提升了抽气口的面积，有效的增加了工作腔室内粒子到达泵室的机率，从而提升高真空状态的抽气速率。

公开(公告)号：CN216550685U

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202123421639.1

申请日：2021-12-31

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Inventor： 蒋毅 ,  刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  李宏盛

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/30 ,  E06B5/00

Abstract: 本申请涉及一种防护门装置及真空镀膜机，所述防护门装置，用于真空镀膜机，包括至少一个防护门，该防护门包括：底板，位于两侧的侧板，位于正面的面板和位于上部的顶板；其中，所述面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构；所述一侧的侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，另一侧的侧板相对于真空腔体活动设计；该技术方案，设计了立体式的防护门结构，在面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构，操作人员可以通过阶梯结构登上顶板上进行相应操作，无需搬运辅助设备到防护门板前，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机使用便利性。

公开(公告)号：CN307610051S

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202230471643.X

申请日：2022-07-22

Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 ,  中山市博顿光电科技有限公司

Designer： 刘伟基 ,  蒋毅 ,  李宏盛 ,  易洪波 ,  冀鸣

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品属于镀膜设备领域，用于在真空度下对物件进行镀膜加工。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。