公开(公告)号：CN1767139B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200510114183.0

申请日：2005-10-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广木珠代 ,  东尚史 ,  谷口大知

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J1/316 ,  H01J29/04 ,  H01J29/94 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/0489 ,  H01J2329/4613 ,  H01J2329/463 ,  H01J2329/946 ,  H01J2329/948

Abstract: 本发明涉及一种成像装置，其中配有电子发射器件的第一基底，和用从电子发射器件发出的电子照射的图像显示部件，彼此对置设置，所述成像装置配有使从电子发射器件发出的电子偏转的偏转装置，和捕获由电子电离的惰性气体的捕获部件。借此，避免了惰性气体对电子发射器件的损害，并有助于延长图像显示装置的寿命。

公开(公告)号：CN102222591A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110090187.5

申请日：2011-04-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广木珠代

IPC: H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J1/3046 ,  H01J3/022 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30423 ,  H01J2329/0423

Abstract: 本发明涉及电子发射器件、电子束装置和图像显示装置的制造方法。提供一种电子发射器件的制造方法，其减少了施加有用于驱动电子源的电压的栅极和阴极之间漏电流的发生。该电子发射器件包括：绝缘部件，在其表面上具有凹部；栅极电极，在该绝缘部件上形成并与该凹部相对地放置；阴极，在该凹部的边缘上形成并具有向该栅极电极突出的突起。该制造方法包括形成该凹部的步骤以及在凹部边缘处形成向栅极电极突出的凸部之后形成阴极的步骤。依次执行这些步骤。

公开(公告)号：CN101866799A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010115887.0

申请日：2010-02-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 諏访高典 ,  武田俊彦 ,  广木珠代

IPC: H01J29/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J3/021 ,  H01J1/3046 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30423 ,  H01J2203/0216 ,  H01J2203/0272 ,  H01J2329/0423 ,  H01J2329/4613 ,  H01J2329/4673 ,  H01J2329/4682

Abstract: 本发明公开了一种电子束装置和使用电子束装置的图像显示装置。所提供的电子束装置具有电子发射器件，所述电子发射器件具有简单的配置、展现出高的电子发射效率、操作稳定并且其中有效会聚发射的电子。电子束装置包括：绝缘部件，在其表面上具有凹口；栅极，位于所述绝缘部件的表面上；至少一个阴极，具有从所述凹口的边缘向所述栅极突起的突起部分，并且位于所述绝缘部件的表面上使得所述突起部分与所述栅极相对；和阳极，被布置为经由所述栅极与所述突起部分相对，其中，在所述绝缘部件的表面上形成所述栅极，使得至少与所述阴极相对的区域的一部分向外突出，并且设置其中所述栅极的端部凹陷并且夹着突出区域的凹陷部分。

公开(公告)号：CN108570647A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810192417.0

申请日：2018-03-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广木珠代

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/0042

Abstract: 公开了反应性溅射装置和反应性溅射方法。反应溅射装置通过采用靶材和反应性气体以化合物、转移和金属模式中的任何一种执行沉积，其中反应性溅射装置包括惰性气体馈送单元、反应性气体馈送单元、向靶材供给电力的电力供给单元、检测在向靶材供给电力时生成的等离子体发射的检测单元，以及控制单元，该控制单元调节反应性气体的流率以将一波长处的等离子体发射强度或从多个波长处的等离子体发射强度计算的值维持在指定值，并且其中控制单元控制等离子体发射强度或其计算值的指定值，使得转移模式中的阴极电压V与化合物模式中的阴极电压Vc的比V/Vc接近于预设值，这两个阴极电压是在沉积期间检测的。

公开(公告)号：CN1767139A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200510114183.0

申请日：2005-10-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广木珠代 ,  东尚史 ,  谷口大知

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J1/316 ,  H01J29/04 ,  H01J29/94 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/0489 ,  H01J2329/4613 ,  H01J2329/463 ,  H01J2329/946 ,  H01J2329/948

Abstract: 本发明涉及一种成像装置，其中配有电子发射器件的第一基底，和用从电子发射器件发出的电子照射的图像显示部件，彼此对置设置，所述成像装置配有使从电子发射器件发出的电子偏转的偏转装置，和捕获由电子电离的惰性气体的捕获部件。借此，避免了惰性气体对电子发射器件的损害，并有助于延长图像显示装置的寿命。