公开(公告)号：CN105321970A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510320636.9

申请日：2015-06-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大贯裕介 ,  板桥政次 ,  杮沼伸明 ,  下津佐峰生 ,  藤田雅人 ,  荻野拓海 ,  鸟居庆大

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14689 ,  H01L21/78 ,  H01L27/14612 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/14641 ,  H01L27/14687

Abstract: 公开了一种制造固态图像传感器的方法和固态图像传感器。该方法包括准备晶片，所述晶片包括设置了光电转化元件的像素区、设置了用于构成周边电路的周边MOS晶体管的栅电极的周边电路区、和划片区。所述方法包括形成覆盖像素区、周边电路区和划片区的绝缘膜，以及通过蚀刻绝缘膜在栅电极的侧表面上形成侧壁间隔物使得部分绝缘膜保留以覆盖像素区和划片区，以及通过使用覆盖像素区和划片区的绝缘膜作为用于保护以不受硅化影响的掩模在周边电路区中形成金属硅化物层。