公开(公告)号：CN102076428B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200980124101.7

申请日：2009-06-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 江崎隆博 ,  张建六 ,  添田康宏 ,  玉森研尔

IPC: B06B1/02

CPC classification number: H01L23/5226 ,  B06B1/0292 ,  B81B2201/0257 ,  H01L21/76898 ,  H01L27/1203 ,  H01L29/84 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种元件阵列，包括多个具有第一电极和第二电极的元件，在第一电极和第二电极之间具有空隙；通过凹槽对于每个元件分离第一电极，绝缘的连接衬底与第一电极接合，以及从对于每个元件分离的各个第一电极中的每一个第一电极穿过连接衬底到与第一电极相对的一侧地形成布线。

公开(公告)号：CN102076428A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200980124101.7

申请日：2009-06-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 江崎隆博 ,  张建六 ,  添田康宏 ,  玉森研尔

IPC: B06B1/02

CPC classification number: H01L23/5226 ,  B06B1/0292 ,  B81B2201/0257 ,  H01L21/76898 ,  H01L27/1203 ,  H01L29/84 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种元件阵列，包括多个具有第一电极和第二电极的元件，在第一电极和第二电极之间具有空隙；通过凹槽对于每个元件分离第一电极，绝缘的连接衬底与第一电极接合，以及从对于每个元件分离的各个第一电极中的每一个第一电极穿过连接衬底到与第一电极相对的一侧地形成布线。