公开(公告)号：CN118824930A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410451759.5

申请日：2024-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 龙野俊直 ,  福井慎次 ,  秋叶英生 ,  神谷重雄 ,  中岛和敬

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供基板支承构件、基板支承构件的制造方法、基板处理装置以及物品的制造方法。基板支承构件用于支承基板，其特征在于，具有：支承上述基板的多个凸部；以及用于在上述多个凸部支承着上述基板时在上述基板的被上述多个凸部支承着的面侧形成减压空间的密封部，上述多个凸部在各自的上端部具有膜，上述密封部在上述密封部的上端部不具有膜或者具有比上述多个凸部所具有的上述膜薄的膜。

公开(公告)号：CN116027465A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211315704.9

申请日：2022-10-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 福井慎次 ,  龙野俊直 ,  秋叶英生 ,  平林敬二

IPC: G02B1/11 ,  G02B1/14 ,  G03F7/20

Abstract: 一种衬底保持板，其包括第一层以及与第一层形成界面的第二层。所述第一层和所述第二层含有类金刚石碳。所述第一层在一定波长的折射率高于所述第二层在所述波长的折射率。从所述第二层到衬底保持板的最上表面的距离小于所述第一层的厚度。

公开(公告)号：CN114563925A

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN202111417544.4

申请日：2021-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 荒井一浩 ,  福井慎次 ,  龙野俊直

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及基板保持板和曝光装置。基板保持板具有基板保持表面。基板保持板包括：基部；和突起，所述突起相对于基部设置在基板保持表面侧并且支撑基板。至少突起的最上表面是粗糙表面。基部或突起具有第一部分。突起具有硬度比第一部分的硬度高的第二部分。第二部分设置在与粗糙表面的顶部相距距离D的范围内。距离D小于该顶部和与该顶部相邻的底部之间的高度差H。