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公开(公告)号：CN105300663B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201510320670.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 合成石英玻璃衬底，其通过以下制备：提供合成石英玻璃砖；用液体涂覆所述砖的任意表面和相对表面，所述液体在双折射测量的波长下具有至少99.0％/mm的透射率；通过使光进入一个经涂覆的表面并离开另一经涂覆的表面测量所述砖的双折射，和基于所测量的双折射值，将所述砖分类为可接受的组或不可接受的组。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106242311A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610402325.1
申请日：2016-06-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基板的制备方法。通过提供合成石英玻璃块体、用在双折射测定的波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该块体的两个相对表面、通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开从而测定该块体上的双折射分布、和基于测定的双折射分布将该块体分类为可接受的组或不可接受的组，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN105300663A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510320670.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 合成石英玻璃衬底，其通过以下制备：提供合成石英玻璃砖；用液体涂覆所述砖的任意表面和相对表面，所述液体在双折射测量的波长下具有至少99.0％/mm的透射率；通过使光进入一个经涂覆的表面并离开另一经涂覆的表面测量所述砖的双折射，和基于所测量的双折射值，将所述砖分类为可接受的组或不可接受的组。
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公开(公告)号：CN110066101B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201910060528.0
申请日：2019-01-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。
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公开(公告)号：CN106242311B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201610402325.1
申请日：2016-06-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基板的制备方法。通过提供合成石英玻璃块体、用在双折射测定的波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该块体的两个相对表面、通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开从而测定该块体上的双折射分布、和基于测定的双折射分布将该块体分类为可接受的组或不可接受的组，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN110066101A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910060528.0
申请日：2019-01-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。
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