Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN115201216A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210363369.3
申请日：2022-04-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 寺岛隆世 , 吉野巧 , 寺泽恒男
IPC: G01N21/95 , G03F1/84
Abstract: 本发明的缺陷检查装置具有：缺陷检测部，取得与基板缺陷相关的第一缺陷信息；以及比较信息取得部，获取对存储在存储部中的规定缺陷信息与所述第一缺陷信息进行比较后的结果。
