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公开(公告)号：CN118005019A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311388769.0
申请日：2023-10-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C30B29/06 , C30B13/00
Abstract: 本发明的一种多晶硅棒的直径为120mm以上，最低电阻率为3300Ωcm以上，且RRG为100％以下。本发明的另一种多晶硅棒的直径为140mm以上，最低电阻率为3300Ωcm以上，且RRG为150％以下。
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