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公开(公告)号：CN102668052B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201080039744.4
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了各种计量系统以及方法。
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公开(公告)号：CN102859265B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201180021092.6
申请日：2011-04-28
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： A·希尔
IPC: F21S2/00 , F21V5/00 , F21V8/00 , F21V29/50 , F21Y101/02
CPC classification number: G02B21/084 , F21W2131/406 , F21Y2115/10 , G01N21/8806 , G01N2021/8816 , G01N2021/8822 , G01N2201/0631 , G01N2201/0638 , G02B21/10 , G02B27/0927
Abstract: 揭示了一种具有环状排列光源的环形光照明器。对于每个光源对应有光束成形器，该光束成形器包括聚光器、来自光源的光的均匀化装置以及用于将均匀化装置的输出成像到要照明区域上的成像装置。各个实施例中的均匀化装置为将来自聚光器的光引导至其中的棒。与聚光器相对的棒的端部通过成像装置被成像到要照明区域中。
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公开(公告)号：CN103038603A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180037270.4
申请日：2011-04-12
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
IPC: G01B11/30 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01B11/25 , G01B2210/44 , G01N21/9501 , H01L22/12
Abstract: 公开了用于对晶片（4）的至少一个表面（3）上的锯痕（2）进行三维检查的装置（1）和方法。需要至少一个相机（6）来捕捉晶片（4）的整个表面（3）的图像。至少一个线投影仪（8）提供以中心光束轴（9）为中心的光束（5）。线投影仪（8）被排列成中心光束轴（9）与晶片（4）的平面（P）成锐角（α）。线移动器（12）置于每一线投影仪（8）与晶片（4）的表面（3）之间的光束（5）中。帧抓取器（14）和图像处理器（16）用于对图像捕捉和多条线（22）的图案（20）在晶片（4）的前侧（3F）和/或后侧（3B）的定位进行同步和协调。
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公开(公告)号：CN104155313B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201410437602.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN102859265A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180021092.6
申请日：2011-04-28
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： A·希尔
IPC: F21S2/00 , F21V5/00 , F21V8/00 , F21V29/00 , F21Y101/02
CPC classification number: G02B21/084 , F21W2131/406 , F21Y2115/10 , G01N21/8806 , G01N2021/8816 , G01N2021/8822 , G01N2201/0631 , G01N2201/0638 , G02B21/10 , G02B27/0927
Abstract: 本发明揭示了一种具有环状排列光源的环形光照明器。对于每个光源对应有光束成形器，该光束成形器包括聚光器、来自光源的光的均匀化装置以及用于将均匀化装置的输出成像到要照明区域上的成像装置。各个实施例中的均匀化装置为将来自聚光器的光引导至其中的棒。与聚光器相对的棒的端部通过成像装置被成像到要照明区域中。
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公开(公告)号：CN102668052A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080039744.4
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了各种计量系统以及方法。
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公开(公告)号：CN105021632B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510350555.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN105021632A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510350555.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号：CN104155313A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410437602.3
申请日：2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor： D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量；以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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