公开(公告)号：CN113970064A

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN202111176231.4

申请日：2021-10-09

Applicant: 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司

Inventor： 杨金龙 ,  魏入铎 ,  刘广登 ,  邹来飞 ,  谢家道

IPC: F17C5/06 ,  F17C7/04 ,  F17C13/00 ,  F17D1/065 ,  F17D3/01

Abstract: 本发明提供一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶，钢瓶上连接有主管路，钢瓶外侧设置有加热带，主管路外端连接有真空泵，主管路左侧连接有左支路，左支路外端分别连接换气罐，主管路右侧连接有右支路，右支路外端为排放口。本发明通过在钢瓶外侧设有加热带进行加热，将瓶内的液相气体快速转变为气相，便于置换处理，减少置换气的加入次数，降低能耗，缩短处理时间，结构简单，使用便捷。

公开(公告)号：CN216410744U

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202122174284.4

申请日：2021-09-09

Applicant: 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司

Inventor： 魏入铎 ,  俞冬雷 ,  刘广登 ,  邹来飞 ,  胡飞 ,  杨金龙

IPC: G01N1/10 ,  G01N1/34

Abstract: 本实用新型公开了一种乙硅烷中金属离子取样装置，其技术方案要点是：包括取样瓶，所述取样瓶的右侧设置有第一过滤瓶，所述第一过滤瓶的右侧设置有第二过滤瓶，所述第二过滤瓶的右侧设置有燃烧塔，所述燃烧塔的右侧设置有第三过滤瓶；四个密封盖，四个所述密封盖分别连接在所述取样瓶、所述第一过滤瓶、所述第二过滤瓶和所述第三过滤瓶的内部，所述密封盖的顶端开设有进气孔，所述密封盖的顶端开设有出气孔，通过设置质量流量计，由于质量流量计连接在检测管的一端，从而使进入检测管内部的乙硅烷样品可以通过质量流量计进行计量，从而便于工作人员后期控制乙硅烷样品流量，便于后期对乙硅烷样品进行取样，减少了取样等待时间。