-
公开(公告)号：CN113970064A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202111176231.4
申请日：2021-10-09
Applicant: 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶，钢瓶上连接有主管路，钢瓶外侧设置有加热带，主管路外端连接有真空泵，主管路左侧连接有左支路，左支路外端分别连接换气罐，主管路右侧连接有右支路，右支路外端为排放口。本发明通过在钢瓶外侧设有加热带进行加热，将瓶内的液相气体快速转变为气相，便于置换处理，减少置换气的加入次数，降低能耗，缩短处理时间，结构简单，使用便捷。
Search Results
1
records
(took 0.03 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
