公开(公告)号：CN1973373A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580020604.1

申请日：2005-06-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 福吉健藏 ,  石松忠 ,  绪方启介 ,  中尾充宏 ,  内堀明子

IPC: H01L27/146

Abstract: 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。

公开(公告)号：CN100517739C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200580020604.1

申请日：2005-06-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 福吉健藏 ,  石松忠 ,  绪方启介 ,  中尾充宏 ,  内堀明子

IPC: H01L27/146

Abstract: 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。