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公开(公告)号：CN100517739C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200580020604.1
申请日：2005-06-16
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。
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公开(公告)号：CN101449381B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200780017804.0
申请日：2007-04-03
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: H01L27/146 , G02B5/20
Abstract: 本发明提供一种彩色摄像元件，具备：包括多个光电转换元件(12)的半导体基板(10)；以及包括与半导体基板的多个光电转换元件对应而设置的多个着色层(24，26)的彩色滤光器。彩色滤光器的多个着色层的各个着色层，包括：侧面(24b，26b)，立起于半导体基板的表面；以及倾斜面，从位于上述侧面上与半导体基板相反侧的端向位于着色层上与半导体基板相反侧的端部(24a，26a)连续，上述多个着色层配置成各自的侧面没有间隙地接触。
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公开(公告)号：CN100440518C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN03801391.6
申请日：2003-07-09
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: G02B3/0018 , G02B3/0056 , G02B5/201 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14685 , H01L31/02162 , H01L31/02327
Abstract: 一种固体摄像元件具备二维配置的多个光电变换元件、和分别覆盖上述光电变换元件的多个略半球形状的微透镜。微透镜为多层构造，至少具有：透明树脂上部层，形成略半球形状的至少一部分；和着色下部层，被设在透明树脂上部层的上述光电变换元件一侧，与该透明树脂上部层之间的界面具有沿上述光电变换元件的表面的形状、例如平坦的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1973373A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580020604.1
申请日：2005-06-16
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。
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公开(公告)号：CN100533749C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200680004532.6
申请日：2006-02-07
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。
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公开(公告)号：CN1579022A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN03801391.6
申请日：2003-07-09
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: G02B3/0018 , G02B3/0056 , G02B5/201 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14685 , H01L31/02162 , H01L31/02327
Abstract: 一种固体摄像元件具备二维配置的多个光电变换元件、和分别覆盖上述光电变换元件的多个略半球形状的微透镜。微透镜为多层构造，至少具有：透明树脂上部层，形成略半球形状的至少一部分；和着色下部层，被设在透明树脂上部层的上述光电变换元件一侧，与该透明树脂上部层之间的界面具有沿上述光电变换元件的表面的形状、例如平坦的形状。
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公开(公告)号：CN101449381A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200780017804.0
申请日：2007-04-03
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种彩色摄像元件，具备：包括多个光电转换元件(12)的半导体基板(10)；以及包括与半导体基板的多个光电转换元件对应而设置的多个着色层(24，26)的彩色滤光器。彩色滤光器的多个着色层的各个着色层，包括：侧面(24b，26b)，立起于半导体基板的表面；以及倾斜面，从位于上述侧面上与半导体基板相反侧的端向位于着色层上与半导体基板相反侧的端部(24a，26a)连续，上述多个着色层配置成各自的侧面没有间隙地接触。
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公开(公告)号：CN101116186A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200680004532.6
申请日：2006-02-07
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。
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