公开(公告)号：CN110832108A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201880043421.9

申请日：2018-06-04

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 冈村贤吾 ,  高原健 ,  早川孝宏 ,  花见道广 ,  谷卓行

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  H05H1/46

Abstract: 公开一种由膜处理装置(1)进行的处理方法，该膜处理装置(1)具备：第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)、以及交流电源(5)，第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)分别具有形成磁场的磁体(3b)、(4b)，交流电源(5)能够交替地切换第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)的极性。在该处理方法中，通过由交流电源(5)供给的高频功率，在交替地切换第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)的极性的同时，产生等离子体(P)，从而进行对膜(F)的预定表面处理。

公开(公告)号：CN110832108B

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN201880043421.9

申请日：2018-06-04

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 冈村贤吾 ,  高原健 ,  早川孝宏 ,  花见道广 ,  谷卓行

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  H05H1/46

Abstract: 公开一种由膜处理装置(1)进行的处理方法，该膜处理装置(1)具备：第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)、以及交流电源(5)，第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)分别具有形成磁场的磁体(3b)、(4b)，交流电源(5)能够交替地切换第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)的极性。在该处理方法中，通过由交流电源(5)供给的高频功率，在交替地切换第1放电电极单元(3)和第2放电电极单元(4)的极性的同时，产生等离子体(P)，从而进行对膜(F)的预定表面处理。