公开(公告)号：CN101080671B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580043248.5

申请日：2005-12-02

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 小西敏雄 ,  小岛洋介 ,  根本悟 ,  佐佐木淳 ,  田中启司

IPC: G03F1/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/30 ,  G03F1/28

Abstract: 一种相移掩模，具备透明基板、和形成在该透明基板上的遮光膜，在上述遮光膜上交替地形成有第1开口部和第2开口部，上述透明基板从上述第2开口部开始被凹入规定的深度，从而形成凹部，通过上述第1及第2开口部的透射光的相位交替地反转，其特征在于，根据上述遮光膜的上述第1开口部的开口端部和第2开口部的开口端部之间的截距，设定上述透射光的相位差。

公开(公告)号：CN101080671A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200580043248.5

申请日：2005-12-02

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 小西敏雄 ,  小岛洋介 ,  根本悟 ,  佐佐木淳 ,  田中启司

IPC: G03F1/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/30 ,  G03F1/28

Abstract: 一种相移掩模，具备透明基板、和形成在该透明基板上的遮光膜，在上述遮光膜上交替地形成有第1开口部和第2开口部，上述透明基板从上述第2开口部开始被凹入规定的深度，从而形成凹部，通过上述第1及第2开口部的透射光的相位交替地反转，其特征在于，根据上述遮光膜的上述第1开口部的开口端部和第2开口部的开口端部之间的截距，设定上述透射光的相位差。