公开(公告)号：CN102112244B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN200980130832.2

申请日：2009-07-31

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 濑川达弥 ,  浅井究 ,  中西俊介 ,  茅根博之 ,  铃木充

IPC: B09B3/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B09B5/00 ,  B32B43/006 ,  B32B2311/00 ,  B32B2315/08 ,  B32B2398/00 ,  G02B5/201

Abstract: 玻璃基板再生装置(10)是对以大致水平支撑的状态由搬运装置搬运的基板进行再生处理的装置，朝向不良基板的搬运方向依次具备第1碱性液处理部(12)、酸性液处理部(14)以及第2碱性液处理部(16)。第1碱性液处理部(12)向从基板搬入部(11)所搬入的不良基板喷射碱性液，剥离最上层的树脂层。酸性液处理部(14)向由喷淋水洗部(13)淋洗完的不良基板喷射酸性液，剥离中间层的金属层。第2碱性液处理部(16)向由喷淋水洗部(15)淋洗完的不良基板喷射碱性液，剥离最下层的树脂层。根据玻璃基板再生装置(10)，可在短时间内完成玻璃基板(2)的再生处理，亦可抑制玻璃基板(2)的损伤。

公开(公告)号：CN102112244A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200980130832.2

申请日：2009-07-31

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 濑川达弥 ,  浅井究 ,  中西俊介 ,  茅根博之 ,  铃木充

IPC: B09B3/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: B09B5/00 ,  B32B43/006 ,  B32B2311/00 ,  B32B2315/08 ,  B32B2398/00 ,  G02B5/201

Abstract: 玻璃基板再生装置(10)是对以大致水平支撑的状态由搬运装置搬运的基板进行再生处理的装置，朝向不良基板的搬运方向依次具备第1碱性液处理部(12)、酸性液处理部(14)以及第2碱性液处理部(16)。第1碱性液处理部(12)向从基板搬入部(11)所搬入的不良基板喷射碱性液，剥离最上层的树脂层。酸性液处理部(14)向由喷淋水洗部(13)淋洗完的不良基板喷射酸性液，剥离中间层的金属层。第2碱性液处理部(16)向由喷淋水洗部(15)淋洗完的不良基板喷射碱性液，剥离最下层的树脂层。根据玻璃基板再生装置(10)，可在短时间内完成玻璃基板(2)的再生处理，亦可抑制玻璃基板(2)的损伤。